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LSI制造与测试1991年出版文献
出版文献量（篇）
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LSI制造与测试
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主办单位：
上海光学仪器研究所
ISSN：
CN：
31-1459/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
200062
地址：
出版文献量（篇）
366
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刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年1期页码:摘要：
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12. 液晶电视屏光刻设备研制的建议刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年2期页码:摘要：
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13. 晶片表面的清洁技术刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年2期页码:摘要：
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14. LSI生产自动化技术刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年2期页码:摘要：
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15. 存储器测试技术发展刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年3期页码:摘要：
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16. 一个MSI／LSI测试系统软件刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年3期页码:摘要：
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18. 数字计数器刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年3期页码:摘要：
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20. 测试程序生成刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年3期页码:摘要：
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24. 气动测微技术在光刻机中的应用刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年4期页码:摘要：
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26. 电子专用设备技术状态管理的应用刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年5期页码:摘要：
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27. 线宽测量标准定标与传递刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年5期页码:摘要：
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28. GP—1硅片平整度测试仪刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年5期页码:摘要：
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29. 晶体光轴定向仪刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年6期页码:摘要：
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30. 高纯水水质与LSI刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1991年6期页码:摘要：
LSI制造与测试基本信息
| 刊名 | LSI制造与测试 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 上海光学仪器研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 | |
| ISSN | CN | 31-1459/TN | |
| 邮编 | 200062 | 电子邮箱 | |
| 电话 | 021-650226 | 网址 | |
| 地址 | 上海江西中路450号 |
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