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LSI制造与测试1992年出版文献
出版文献量（篇）
366
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LSI制造与测试
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主办单位：
上海光学仪器研究所
ISSN：
CN：
31-1459/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
200062
地址：
出版文献量（篇）
366
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刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年1期页码:摘要：
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7. 再谈投影光刻技术刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年1期页码:摘要：
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刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年2期页码:摘要：
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9. 世界电子元件发展及市场刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年2期页码:摘要：
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10. 国外光电子产业的进展刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年3期页码:摘要：
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13. 制造集成电路用的光学仪器刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年3期页码:摘要：
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14. 扫描隧道显微镜刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年3期页码:摘要：
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16. 硅微电子技术向全盛时代迈进刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年4期页码:摘要：
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19. 光刻胶处理系统的国内外现状刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年4期页码:摘要：
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21. 高效空气过滤器产品标准的介绍刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年4期页码:摘要：
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22. 硅微电子技术发展趋势分析刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年5期页码:摘要：
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23. 立足自主开发,走消化吸收创新之路刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年5期页码:摘要：
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25. CDMS—1型电视线宽测量仪刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年5期页码:摘要：
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26. 线宽测量阈值刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年5期页码:摘要：
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27. 在SEM中实现IC线宽测量刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年5期页码:摘要：
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30. 晶体生长设备的现状与发展刊名： LSI制造与测试发表期刊： 1992年6期页码:摘要：
LSI制造与测试基本信息
| 刊名 | LSI制造与测试 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 上海光学仪器研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 | |
| ISSN | CN | 31-1459/TN | |
| 邮编 | 200062 | 电子邮箱 | |
| 电话 | 021-650226 | 网址 | |
| 地址 | 上海江西中路450号 |
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