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LSI制造与测试1995年第2期出版文献

出版文献量（篇）

366

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LSI制造与测试

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主办单位：

上海光学仪器研究所

ISSN：

CN：

31-1459/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

200062

地址：

上海江西中路450号

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366

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热门刊内文献

年度刊次

1. 努力建设现代电子信息产业

作者：胡启立

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1995年2期

页码: 3-6

摘要：电子工业是国民经济的重大组成部分。由于电子工业持续快速发展，超额完成了各项经济指标，１９９４年电子工业总产值达１８５９亿元。新电子部成立后，电子工业积极推进国民经济信息化，它的本身的产业结构...
2. 集成电路技术产业化基本概念和评价指标

作者：许居衍

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1995年2期

页码: 7-11

摘要：
3. 科技增后劲,管理出效益（续）

作者：沈建森

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1995年2期

页码: 12-16

摘要：
4. 改造日产箔式卷绕机的探讨

作者：党根茂胡雪峰

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1995年2期

页码: 17-18

摘要：本文以日产ＣＷＺＤ－２０Ｄ箔式涤纶薄膜自动卷绕机为例，用无伤改造法和打针孔机构方案，将其改造为金属化涤纶薄膜自动卷绕机。
5. 亚微米电子束曝光机工件台控制系统

作者：张安福谭敏

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1995年2期

页码: 20-26

摘要：激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要任务是完成图形的拼接。本文描述双频激光干涉仪为测量系统的计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的Ｘ－Ｙ工件台。该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝...
6. 一种新型的I线和DUV线步进机的设计思路

作者： Unge.,R

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1995年2期

页码: 27-37

摘要：本文讨论了新生产线上一种步进机，它是由美国半导体制造技术联合体和它的几个子公司联合开发的。它应用ｉ线（３６５ｎｍ）和深紫外（ＤＵＶ２４８ｎｍ）波长，具有高数值孔径、大视场精缩镜头特点，适用的...

LSI制造与测试基本信息

刊名	LSI制造与测试	主编
曾用名
主办单位	上海光学仪器研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种
ISSN		CN	31-1459/TN
邮编	200062	电子邮箱
电话	021-650226	网址
地址	上海江西中路450号