功能材料与器件学报期刊
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功能材料与器件学报

Journal of Functional Materials and Devices
本刊于1995年创刊,是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。 主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。 来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用,以及功能器件的原理、工艺和性能等等,具体可以包括下列领域: 微电子机械系统(MEMS) 微电子和光电子材料与器件... 更多
主办单位:
中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会
期刊荣誉:
中国学术期刊综合评价数据库来源期刊  中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊   美国Ei,美国CA,英国SA,俄罗斯PЖ的文献源期刊  
ISSN:
1007-4252
CN:
31-1708/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
200050
地址:
上海市长宁路865号
出版文献量(篇)
1638
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  • 作者: 林成鲁
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  1-6
    摘要: 通过对最近两次SOI国际会议的分析,综述了SOI技术取得的新进展。三种SOI技术SIMOX,Smart-cut和BESOI已走向商业化,在高温与辐射环境下工作的SOI电路也走向了市场。近来人...
  • 作者: 丁辛芳 何云爽 刘岩海 刘新宁
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  7-10
    摘要: 介绍了一种FIA(FlowInjectionAnalysis-流动注入分析)系统中的部件—微型振膜泵。该微型泵体采用无阀式的扩散管/喷嘴结构,由电磁—机械方式驱动振膜的振动,用干电池作电源。...
  • 作者: 李铁 沈勤我 沈鸿烈 潘强 祝向荣 邹世昌
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  11-15
    摘要: 研究了覆盖层为铁磁性的Fe和非铁磁性的Ti、Cu的Co/Cu/Co三明治在室温和低温下的巨磁电阻效应。实验结果表明,室温下有覆盖层时,Co/Cu/Co三明治的巨磁电阻效应值没有明显变化,但以...
  • 作者: 晏海学 李承恩 王志勇 贺连星 陈廷国
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  16-20
    摘要: 采用低频倒置扭摆内耗仪对组分为Pb(Zr0.7Ti0.3)O3(PZT73)和Pb(Zr0.3Ti0.7)O3(PZT37)的两种陶瓷的内耗Q-1及振动频率的平方f2(正比于材料的剪切模量G...
  • 作者: 丁士进 张卫 徐宝庆 王季陶
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  21-26
    摘要: 以BPO4和稀土氧化物为原料制备了铈、铽、钆共掺杂的硼磷酸镧绿色荧光粉,研究了基质中Gd3+、Ce3+、Tb3+的发光特性及它们之间的相互作用。在该基质中存在Ce3+→Gd3+、Gd3+→T...
  • 作者: K.Nitsch M.Nikl S.Kapphan 冯锡淇 赵建林
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  27-30
    摘要: 退火处理后的CsI:Pb晶体在10~30K温度范围内观察到两类发光:当激发波长为410nm,主要发光带在464nm附近;而当激发波长为360nm或300nm,主发射带为422nm。这两种发光...
  • 作者: 于丽娟 刘光泗 刘君华 朱长纯 韦玮 魏培永
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  31-34
    摘要: 制作了新型IDC结构聚苯胺膜SO2传感器,测得不同SO2浓度的电导响应与恢复时间曲线。从这些气敏特性曲线出发,以电导响应曲线的斜率作为网络的输入,对应的SO2浓度作为输出,建立了BP网络预测...
  • 作者: 唐学明 尹霞 颜永红 黄敬良 龚磊
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  35-40
    摘要: 等离子体处理是微电子技术加工中一种成熟的工艺方法,引入射频辉光放电产生的低温等离子体对三乙醇胺涂膜QCM(QuartzCrystalMicro-balance)传感器进行表面处理,使传感器的...
  • 作者: 傅刚 张进修 陈志雄 陈环
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  41-44
    摘要: 采用溶胶凝胶法制备Zn2SnO4-LiZnVO4系陶瓷纳米粉体,用平面丝网印刷工艺在氧化铝基片上制备厚膜湿敏元件。与普通陶瓷粉体制备的元件相比,该元件低湿电阻小,长期稳定性较好。测量不同工作...
  • 作者: 徐刚毅 王天民 王金良
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  45-50
    摘要: 利用高真空PECVD系统在p型单晶硅上沉积掺磷n型纳米硅薄层(nc-Si:H),形成纳米硅/单晶硅Np异质结二极管,通过C-V和J-V测试研究了二极管的电学性质。C-V特性指出该异质结为突变...
  • 作者: 何红波 周继承 李义兵
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  51-53
    摘要: 基于量子力学隧穿原理,对由Au纳米粒子自组装体系构建的典型串联双隧道结模型的I-V特性进行了计算机模拟,模拟结果与实验曲线吻合。该方法对于构建纳米电子器件模型及工艺优化将具有指导意义。
  • 作者: 张峰 李昌荣 柳襄怀 王向晖 王惠民 郑志宏 陈莉芝
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  54-58
    摘要: 采用离子束增强沉积的方法,改变氧分压,在硅基体表面制备出了不同组分及不同取向的氧化钛薄膜。采用XRD,掠角衍射以及XPS分析方法对薄膜的成分、结构和取向进行了分析,并通过RBS分析计算出了薄...
  • 作者: 张敏 胡恒升
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  59-62
    摘要: 通过比较经过和未经过等离子暴露的两种薄栅氧化硅层在恒电流条件下击穿时间tbd的差异,计算出在等离子体暴露过程中由充电效应导致的隧穿电流在天线比为2000的MOS电容栅氧化硅层中产生的陷阱密度...
  • 作者: 王文雍
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  63-68
    摘要: 针对Ni80Fe20/Mo纳米多层膜在实际应用中经常面临的热稳定性问题,研究了多层膜在343~683K温度范围内的互扩散行为,测定了其有效互扩散系数Dλ。小的激活焓来源于多层膜中存在的共格应...
  • 作者: 张骥华 邓华铭 陈树川
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  69-72
    摘要: 根据亚规则溶液模型,进行锰铜二元系的热力学计算表明,γMn-Cu合金在(γ+α)亚稳互溶区确实存在Spinodal分解,在400~600oC时效发生Spinodal分解的是浓度范围为60~9...
  • 作者: 吴洁华 李包顺 李承恩 郭景坤
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  73-76
    摘要: 研究了SiO2-AlN复合材料介电性能随测试温度和测试频率变化的温度特性和频率特性,结果说明:SiO2-AlN复合材料的极化机理表现为空间电荷极化。介电性能的温度特性说明1350℃下热压烧结...
  • 作者: 何红波 周继承 李义兵 胡慧芳
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  77-80
    摘要: 介绍了一种利用正统理论与主方程方法模拟二维量子点阵列的程序。数值计算的结果表明二维量子点阵在低温下有库仑充电行为,其量子功能作用使它显示出可喜的研究价值和应用前景。
  • 作者: 张永刚 李爱珍 林春 简贵胄 郑燕兰
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  81-84
    摘要: 提出了一种适用于GaSb/AlGaAsSb器件工艺的由氢氟酸、酒石酸和双氧水构成的氢氟酸系腐蚀液。该腐蚀液对于GaSb和AlGaAsSb材料具有良好的腐蚀特性和稳定的刻蚀速率。选用合适的溶液...
  • 作者: 施建中 王铁兵 谢晓明
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  85-89
    摘要: 研究了Au/In等温凝固芯片焊接的失效模式,对每种失效模式的失效原因进行了讨论,并提出了相应的解决途径。结果表明:镀铟层过厚,会使焊层中产生Ni9In4相和大量空洞,导致焊层出现早期失效;焊...
  • 作者: 徐立强 王旭洪 赵润涛 陈翔
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  90-94
    摘要: 研究了薄型扁平四面封装(TQFP)器件在再流焊工艺中的分层开裂过程和PECVDSiNx薄膜对器件防水性能的影响。实验发现,水汽含量是引起器件分层开裂的主要原因;银浆与塑封料,芯片衬垫与塑封料...
  • 作者: 夏冠群 孙晓玮 王永生 范恒 詹琰 赵建龙
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  95-97
    摘要: 对光纤通信用定时恢复判决电路进行了研究,设计了由1μm耗尽型GaAs金属-半导体势垒场效应晶体管(MESFET)器件构成的判决电路和时钟提取电路。判决电路的基本单元为源耦合场效应晶体管逻辑(...
  • 作者: 吴晓虹 闵靖
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  98-100
    摘要: 讨论了在检测半导体器件和集成电路芯片时,不同研磨倾斜角度对扩展电阻量值的影响。
  • 作者: 林德娟 沈水发 潘海波 陈耐生 黄金陵
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  101-106
    摘要: 综合介绍TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和TiO2材料的特性,比较了各种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性,就制备方法-材料微观结构-氧敏性能关系中的几个重要问题,进行了深入...
  • 作者: 徐荭 牛新书 王新军
    发表期刊: 2001年1期
    页码:  107-111
    摘要: 介绍了近年来γ-Fe2O3超微粉在制备方法上的新进展,以及用作气敏材料时,通过掺杂不同化合物以提高其相变温度和气敏性等。
  • 作者: 李昌荣 杨根庆 柳襄怀 王曦 邹世昌 郑志宏
    发表期刊: 2001年2期
    页码:  113-115
    摘要: 报道了中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长,以及离子注入 SOI材料合成的方法及其物理过程 ,...
  • 作者: 李志信 罗小兵 过增元
    发表期刊: 2001年2期
    页码:  116-120
    摘要: 介绍了合成喷的基本原理 ,并分析了压电驱动合成喷设计的基本思路和关键点。对喷的两 个重要部件:压电驱动器和腔体的尺寸设计作了分析和说明。讨论了合成喷的电输入参数 , 选择并实验研究了驱动...
  • 作者: 徐宁 胡桅林 过增元
    发表期刊: 2001年2期
    页码:  121-124
    摘要: 微型泵在生物化学分析、药物输送和芯片冷却等领域有广阔的应用前景。为了确定热驱动薄 膜式微泵达到最大工作效率的工作条件,对泵的温度响应和振动响应进行数值模拟,分别得到五种 加热功率下微...
  • 作者: 夏颂 姚熹 张良莹 李邓化
    发表期刊: 2001年2期
    页码:  125-129
    摘要: 通过对圆柱形水听器在低频接收时的静态理论分析,得到了 1- 3型压电复合材料径向极化 圆柱形水听器的自由场电压接收灵敏度计算公式;分析了不同背衬材料及不同厚度的复合材料对 圆柱形水听...
  • 作者: AKIRA Koichi Mamoru Takeshi 沈鸿烈 祝向荣 邹世昌
    发表期刊: 2001年2期
    页码:  130-134
    摘要: 利用金属有机物分解法在非晶石英衬底上成功地制备了具有 (202) 择优取向的多晶 La1- x- SrxMnOz 薄膜。原子力显微镜观察显示薄膜具有疏松的结构缺陷。在室温下,观察到薄膜磁...
  • 作者: 沈绍群 金虎 陆德仁 鲍敏杭
    发表期刊: 2001年2期
    页码:  135-140,151
    摘要: 介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地 介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有 横向效应进...

功能材料与器件学报基本信息

刊名 功能材料与器件学报 主编 邹世昌
曾用名
主办单位 中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会  主管单位 中国科学院
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1007-4252 CN 31-1708/TB
邮编 200050 电子邮箱 jfmd@mail.sim.ac.cn
电话 021-62511070 网址 www.jfmd.cn
地址 上海市长宁路865号

功能材料与器件学报评价信息

期刊荣誉
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2. 中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊
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