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功能材料与器件学报2002年出版文献
出版文献量（篇）
1638
总下载数（次）
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功能材料与器件学报
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本刊于1995年创刊，是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。
主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。
来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用，以及功能器件的原理、工艺和性能等等，具体可以包括下列领域：
微电子机械系统（MEMS）
微电子和光电子材料与器件...
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主办单位：
中科院上海微系统与信息技术研究所
中国材料研究学会
期刊荣誉：
中国学术期刊综合评价数据库来源期刊
中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊
美国Ei,美国CA，英国SA，俄罗斯PЖ的文献源期刊
ISSN：
1007-4252
CN：
31-1708/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
200050
地址：
出版文献量（篇）
1638
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2
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 设计和制作了硅集成电感,采用常规的硅工艺,在衬底形成间隔的pn结隔离来减少硅衬底的涡流损耗.实验测量了硅集成电感的S参数并研究了衬底结隔离对硅集成电感的电感量和品质因素(Q)的影响.结果表明...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 在衬底温度400℃条件下对n型(100)单晶硅进行剂量分别为5×1017cm-1和1×1018cm-1的C+注入,经过在1050℃氮气氛下进行60min退火形成β-SiC埋层.通过X射线光电...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜.其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 利用电共沉积技术,在简单盐和带有络合剂的盐酸溶液中,制备了AlxGa1-xAs三元化合物薄膜.用能谱分析仪测量了薄膜成分,分析结果表明,该膜为符合化学计量比的三元化合物AlxGa1-xAs半...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 报导了磁流体薄片中聚焦激光束在探测50Hz交流磁场时产生与磁场相位无关响应的效应.聚焦于并通过磁流体薄片的633nm激光束的偏转角仅与交流磁场的幅度相关.为了探寻其机理,还研究了磁流体中聚焦...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上制备了透明的纳米TiO2光催化薄膜.利用离子注入技术将Sn离子注入到TiO2表面以提高其光催化活性.用X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS)以及U...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 对用LEO技术生长GaN材料的选择生长和横向生长速率进行了实验研究.结果表明,作为LEO生长基板的GaN层的表面质量是实现选择生长的关键,而图形方向对横向生长速率与纵向生长速率之比(L/V)...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用柠檬酸络合无焰燃烧法制备锂离子电池正极材料尖晶石型LiMn2O4,颗粒大小只有10-100nm,晶型完整,电化学性能与国内外商品化的同种材料相当.直流电阻实验显示该材料在低于室温处存在一...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 用络合沉淀法制得Ni(OH)2,经过加热分解得纳米NiO粉末(粒径约30nm).用该粉末作为活性物质制得的电极具有90～110F/g的比容量.考察了电极的比容量与电解液的浓度、工作电位范围的...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 对分度头检测加速度计静态特性相关的几何物理问题进行了分析,结果表明,传感器在分度头上的安装偏差角和传感器自身固有的横向效应都会影响检测精度.用分度头对加速度计进行静态特性的检测,横向效应包含...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 报道了采用GSMBE方法研制的In0.53Ga0.47AsPIN光电探测器,器件结构中引入了宽禁带InP窗口层和聚酰亚胺钝化工艺,减小了暗电流,提高了器件性能.在反向偏压为5V时器件的暗电流...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 介绍一种SOI/CMOS数模转换器的设计和工艺.电路采用了SOI(SiliconOnInsulator)材料代替常规的体硅,使电路具有高速、抗辐照的特点;同时,电路采用独特分段结构和3-7温...
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13. 一种加密芯片的实现和应用刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 设计了一种组合前馈序列发生器及其硬件逻辑结构,并分析了它的密码特性.在此基础上,实现了一种基于组合前馈序列的加密芯片,将它应用于计算机加密通信,取得了理想的效果.
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14. 振动式微机械陀螺的电学模拟刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟.利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性.利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计.
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 主要报导了热解碳的氮离子注入处理、等离子体浸没离子注入及其血液相容性.用卢瑟福背散射、X射线衍射和喇曼光谱法分析样品的成份及结构.测试了注入前后热解碳样品的血小板粘附性能,经过注入处理的样品...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用PIC(Particalincall)方法考察了等离子体浸没式离子注入工艺中,样品和靶台的几何尺寸、形状及防止溅射沾污的绝缘材料对于注入离子径向分布的影响.并对模拟结果进行了讨论分析.结...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 在国产三温区VGF单晶炉上,研究了非掺GaAs半绝缘单晶的液封垂直梯度凝固法生长技术.讨论了引晶、坩埚设计与质量、PBN坩埚的剥落、B2O3的水份控制等因素对单晶生长的影响,基本解决了VGF...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 用差热分析(DTA),结合X射线衍射(XRD)研究了非晶Pr8Fe86B6合金的晶化动力学.结果表明:该非晶Pr8Fe86B6合金的晶化相为α-Fe固溶体、Pr2Fe23B3和Pr2Fe14...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 研究了辐射交联及其剂量不同对LLDPE/EVA/CB导电复合材料PTC特性及电致发热特性的影响,并借助DSC(示差扫描量热分析)、TGA(热失重法)、DMA(动态机械热分析法)及SEM(扫描...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型.通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数.仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致.
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21. 智能材料和结构刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 介绍了智能材料(intelligentmaterialsorsmartmaterials)和智能结构(intelligentstructure)的基本概念、分类和发展,并对当前材料研究关注热...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料.测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料.在剂量一定的条件...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO2薄膜,在N2气氛下进行了不同温度的退火处理,分析了样品在室温下的光致发光(PL)特性.为探讨其发光机制,对薄膜的结构进行了表征.XRD、XPS、FTI...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 纳米级掺稀土非氧化物团簇复合在氧化硅玻璃中,可以结合非氧化物玻璃和氧化物玻璃在光放大和化学、热力学、力学等方面各自的优点,提供可以应用于实用化1.3μm,宽带1.5μm和新发展的1.4μm光...
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25. 生长温度对ZnO薄膜结构的影响刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 在不同温度下,利用射频等离子体增强型MOCVD系统,在蓝宝石C面上生长出了C轴单一取向的ZnO薄膜,并通过XRD、SEM手段对生长温度与样品的生长速度、表面结构和氧锌原子化学计量比的关系作了...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 用磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法,分别以TiN、TaN、ZrN为扩散阻挡层,在单晶硅片上制备了Cu-Zr合金膜,膜在400oC氮气中退火1h.研究表明,不同扩散阻挡层上Cu-Zr膜的形貌不...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 通过理论分析计算、计算机模拟和工艺实验,对Si/SiGe异质结双极晶体管(HBT)的结构参数进行了精细的优化设计,特别是采用了本征间隔层和新颖的Ge分布曲线,有效地削弱了基区杂质外扩散、基区...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 为实现PZT铁电薄膜与半导体衬底的直接集成引入Al2O3为过渡层,首先用真空电子束蒸发法在Si(100)、多晶金刚石(111)衬底上生长约20nm厚的Al2O3过渡层,接着在上述衬底上采用脉...
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29. 缓冲层对氮化镓二维生长的影响刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 报道了在射频等离子体(RF-Plasma)辅助的分子束外延(MBE)技术中,使用白宝石(0001)衬底,采用低温缓冲层工艺外延氮化镓(GaN).通过原子力显微镜(AFM)的表面形貌比较及X射...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： Ni/MH电池负极的高倍率性能和低温放电性能的提高应当受到重视.采用廉价的硼镍合金(B-Ni)作为掺硼添加剂,有效地改善常用MlNi3.55Co0.75Mn0.4Al0.3贮氢合金的高倍率性...
功能材料与器件学报基本信息
| 刊名 | 功能材料与器件学报 | 主编 | 邹世昌 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会 | 主管单位 | 中国科学院 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1007-4252 | CN | 31-1708/TB |
| 邮编 | 200050 | 电子邮箱 | jfmd@mail.sim.ac.cn |
| 电话 | 021-62511070 | 网址 | www.jfmd.cn |
| 地址 | 上海市长宁路865号 |
功能材料与器件学报评价信息
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| 2. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 中国学术期刊综合评价数据库来源期刊 |
| 2. | 中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊 |
| 3. | 美国Ei,美国CA，英国SA，俄罗斯PЖ的文献源期刊 |
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