功能材料与器件学报期刊
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功能材料与器件学报

Journal of Functional Materials and Devices
本刊于1995年创刊,是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。 主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。 来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用,以及功能器件的原理、工艺和性能等等,具体可以包括下列领域: 微电子机械系统(MEMS) 微电子和光电子材料与器件... 更多
主办单位:
中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会
期刊荣誉:
中国学术期刊综合评价数据库来源期刊  中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊   美国Ei,美国CA,英国SA,俄罗斯PЖ的文献源期刊  
ISSN:
1007-4252
CN:
31-1708/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
200050
地址:
上海市长宁路865号
出版文献量(篇)
1638
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  • 作者: 刘君华 吴媛 巨永锋 文常保 朱长纯 胡小东 许宏科 邱彦章
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  1-6
    摘要: 以金属钨粉,H2O2,CH3OH和PVP(聚乙烯吡咯烷酮)为原料,利用热喷射方法在双声路声表面波器件的测量声路上制作了细微多网孔状WO3薄膜,提出并实现了一种在常温下可以实现对二氧化硫(SO...
  • 作者: 明安杰 李铁 王跃林
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  7-14
    摘要: 文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试.梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑...
  • 作者: 张万荣 李佳 沈珮 甘军宁 谢红云 金冬月
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  15-19
    摘要: 本文对多发射极条(指)微波功率GeSi HBT进行了设计、制造和测试,并就测试结果对电流处理能力进行了研究.实验结果表明,对20~80指的GeSi HBT,发射极单位长度的电流密度I0在1....
  • 作者: 周洪波 姚源 孙晓娜 张华 朱壮晖 李刚 赵建龙 隋晓红
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  20-26
    摘要: 本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法.该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光...
  • 作者: 乔东海 汤亮 郝震宏
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  27-33
    摘要: 提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2.4GHz射频薄膜体声波谐振器,并进行了研究.采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟.给出了采用MEMS工艺制备器件的工艺流程...
  • 作者: 汤乃云
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  34-38
    摘要: 本文采用半经验紧束缚能带理论,通过自洽计算薛定谔方程和泊松方程研究了AlN/GaN共振隧穿二极管中极化效应对电流的影响.结果发现,极化效应导致电流曲线发生不对称性,并影响电流的共振电压位置,...
  • 作者: 吴亚明 李四华 穆参军 鲁亮
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  39-45
    摘要: 本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器.这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉.通过有限元分析和数值计...
  • 作者: 冯飞 李珂 熊斌 王跃林
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  46-52
    摘要: 本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响.理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温...
  • 作者: 何耀 汪联辉 赛丽曼 陆昊婷
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  53-60
    摘要: 本文利用微波辐射方法,在水相中直接快速制备,得到了谷胱甘肽修饰的水溶性ZnSe纳米晶,并详细讨论了制备条件(溶液中离子配比、PH值、反应温度和时间等)对结果的影响.在最佳条件下制备所得的Zn...
  • 作者: 付绍军 刘正坤 刘颖 谭鑫
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  61-65
    摘要: 介绍了软X射线光栅分束镜Mach-Zehnder干涉等离子体诊断系统调整用双频光栅线条平行度的衍射法测量系统.该系统主要由激光器,准直镜,待测光栅,精密转台(含角度测量仪),直线工作台,光栅...
  • 作者: 孙卓 李晓东 林丽峰 潘丽坤 陈奕卫 黄素梅
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  66-70
    摘要: 研究非晶Tb/Fe/Dy(样品A)和Fe/Tb/Fe/Dy(样品B)纳米多层膜超磁致伸缩性能和磁性能.磁滞回线表明样品A的垂直磁各向异性而样品B有面向磁各向异性,样品B比样品A更好的磁性能....
  • 作者: YAO Jin-cheng 周阳 姚金城 常爱民 张东炎 李锋 武德起 赵红生
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  71-74
    摘要: 采用激光分子束外延法(LMBE)在P型Si(100)衬底上沉积了(HfO2)x(Al2O3)Y(NiO)1-x-y,栅介质薄膜,研究了其热稳定性以及阻挡氧扩散的能力.X射线衍射表明在HfO2...
  • 作者: 曹艳霞 王万杰 王经武 陈荣峰
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  75-78
    摘要: 采用锡盐溶液浸渍-煅烧锯末法,制备了SnO2纳米空心球.分别用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)及恒流充放电技术对产品的结构形态和电化学性质进...
  • 作者: 俞军 施寒潇
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  79-82
    摘要: 采用射频反应溅射制备了纳米晶WO3薄膜.基于Berg理论建立了WO3射频反应溅射模型,并分析工艺参数对滞回曲线的影响,基于研究了抽速、基片温度、馈入功率、靶片间距和溅射靶等离子体溅射面积的影...
  • 作者: 吴碧艳 罗文嬗
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  83-86
    摘要: 机械化学抛光(CMP)工艺普遍应用于纳/微机械制造中,特别是复杂的层状结构MEMS.鉴于镍及镍基合金具有高的沉积速率、可控的薄层应力、低的电阻和制备温度以及机械特性,本文研究了镍及镍基合金用...
  • 作者: 何华辉 杜刚 梁培 江建军 田斌 马强
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  87-91
    摘要: 本文讨论了长度对玻璃包覆钴基非晶丝巨磁阻抗效应的影响.通过测量不同频率下(0.1~1MHz)以及不同长度样品的巨磁阻抗效应,结果表明,长度对玻璃包覆钴基非晶丝巨磁阻抗效应有显著影响.通过计算...
  • 作者: 冯涛 刘菁菁 孙卓 张哲娟 李海波 杨介信 林丽锋 潘丽坤 钱敏
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  92-96
    摘要: 采用GaN基蓝色发光芯片为激发源,结合黄色硅酸盐系列荧光粉封装成大功率白光发光二极管(W-LEDs).利用24颗大功率5W白光发光二极管制作了两种不同连接方式的W-LEDs路灯:2并12串,...
  • 作者: 丁慧 冯涛 孙卓 张哲娟 李天军 林丽锋 钱敏 陈奕卫
    发表期刊: 2009年1期
    页码:  97-100
    摘要: 介绍了一套简单、低成本的制作二极管型碳基膜场发射显示器模块的制作方法.该显示单元模块为16 * 16矩阵型点阵,可根据实际需要拼接成各种尺寸.器件的阴极和阳极均采用丝网印刷技术,包括:阴极导...
  • 作者: 姚熹 宋志棠 张德生 张良莹 沈波 陈小刚
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  101-105
    摘要: 本文研究了聚偏氟乙烯和三氟乙烯的铁电共聚物P(VDF/TrFE)的铁电弛豫现象,并讨论了铁电弛豫异常想象.比较了VDF不同含量的共聚物在辐照前后铁电性能的改变,电子辐照大大改变了聚合物样品的...
  • 作者: 刘俊成 张国栋
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  106-112
    摘要: 采用单晶位错研究的热弹性模型,计算模拟了垂直布里奇曼法碲锌镉单晶生长过程中的热应力场,研究了炉膛温度梯度对晶体内热应力的影响.计算结果表明:径向上晶体边缘与坩埚壁接触位置处的热应力远大干晶体...
  • 作者: 张辉 张鹏翔 熊飞 蒋最敏
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  113-119
    摘要: 采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在SrTiO3单晶衬底表面外延生长单相的1.85 Ce0.15 CuO4(NCCO)薄膜,并首次在斜切衬底上生长的NCCO薄膜中探测到激光感生热电电压(LIT...
  • 作者: 冯金垣 李伟杰 郝延华
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  120-124
    摘要: 采用磁控溅射的方法,在玻璃基片上制作出SnO2-Cu-SnO2-Cu-SnO2的5层式多层复合薄膜.并且在常温下使用分光光度计检测出,当它接触到酒精和丙酮气氛的情况下,其反射率在可见光范围的...
  • 作者: 戚龙松 罗乐
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  125-131
    摘要: 研究了一种基于体硅工艺和BCB厚膜布线技术的微波多芯片组件新封装结构,将特定组件中多个微波芯片埋置在接地金属化的硅腔体中,通过热压焊金凸点将芯片垂直引出,并于其上布置多层BCB/Au微波传输...
  • 作者: Daniel L.Akins Philippe Mercier Shiunchin C.Wang 姜慧君 李晓伟 杜翀 杨辉
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  132-142
    摘要: 采用一步法于室温下有选择性地将小管径的单壁碳纳米管(SWCNTs)分散于生物相容性的聚合物--壳聚糖的水溶液中,并将其滴涂于玻碳电极表面,制备出微过氧化物酶-11(MP-11)修饰电极.循环...
  • 作者: 朱德峰 程建功 赵建龙 陈磊
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  143-147
    摘要: 利用多孔氧化铝模板法制备了两种1,3,5-trinitrotoluene(TNT)敏感的荧光共轭聚合物Tri-phenylamine-CO-para-biphenyene vinylene(...
  • 作者: 叶录元 张玉荣 朱庭良 李贵安 邓仲勋 马少华
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  148-152
    摘要: 为实现短波长光存储材料,提出一种基于金属纳米粒子与染料共掺杂的复合材料制备新方法.采用透射电子显微镜(TEM)、紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)以及傅立叶变换红外光谱(FT-IR)对所制备...
  • 作者: 张威虎 张富春 张志勇 负江妮 阎军峰
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  153-158
    摘要: 计算了Ga、Al、In掺杂对ZnO体系电子结构和光学性质的影响.所有计算都是基于密度泛函理论(DFT)框架下的第一原理平面波超软赝势方法.计算结果表明:Ga、AI、In掺杂在ZnO中占据了Z...
  • 作者: 任世彪 伊廷锋 何孝军 郑明东
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  159-164
    摘要: 采用电弧放电法在氦气/乙炔混合气氛中,在不同压力下合成了碳纳米管.运用场发射扫描电镜、场发射透射电镜、X-射线衍射仪和拉曼光谱对碳纳米管的形貌进行了表征.采用可见发射光谱对碳纳米管的形成过程...
  • 作者: 孙卓 孙长庆 李海波 潘丽坤
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  165-168
    摘要: 本文不同的温度下制备多孔硅.通过荧光光谱、光吸收谱、X射线光电子谱研究了多孔硅的光和结构特性.研究结果表明存在着一个制备临界温度343 K,当制备温度从临界温度之下提高到临界温度之上时,多孔...
  • 作者: 周磊 孙玲玲 蒋立飞
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  169-174
    摘要: 亚100纳米工艺下CMP在铜双大马士革工艺中导致的金属厚度偏离对互连线信号完整性具有严重影响.为实现90纳米工艺下互连线精确仿真,本文提出了一种新的互连线分析算法.该方法通过估计寄生参数分布...

功能材料与器件学报基本信息

刊名 功能材料与器件学报 主编 邹世昌
曾用名
主办单位 中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会  主管单位 中国科学院
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1007-4252 CN 31-1708/TB
邮编 200050 电子邮箱 jfmd@mail.sim.ac.cn
电话 021-62511070 网址 www.jfmd.cn
地址 上海市长宁路865号

功能材料与器件学报评价信息

期刊荣誉
1. 中国学术期刊综合评价数据库来源期刊
2. 中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊
3. 美国Ei,美国CA,英国SA,俄罗斯PЖ的文献源期刊

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