纳米技术与精密工程(英文)期刊
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纳米技术与精密工程(英文)

Nanotechnology and Precision Engineering
曾用名: 纳米技术与精密工程

CSTPCD

影响因子 0.4753
本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿. 本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论... 更多
主办单位:
天津大学 中国微米纳米技术学会
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
出版周期:
季刊
邮编:
300072
地址:
天津市南开区卫津路92号
出版文献量(篇)
1315
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  • 作者:
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  241-248
    摘要: MEMS轮廓检验在实质上通常都是三维的,而所荻取的3D点云数据常常没有被充分利用.这种次优化的应用也正是由3D数据和3D模型的比对过程中存在的难点所引发的.给出了旨在减小3D数据分析负担的各...
  • 作者:
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  249-256
    摘要: 机床轴沿轴向运动的直线度是最重要的性能指标.描述了不同的直线度测量方法(直尺法、钢丝绳法、激光干涉仪法、局部垂直度测量及球板和球杆法等),并讨论了这些方法对测量移动长度超过2000 mm的机...
  • 作者: 孟永钢 李翠红 温诗铸 田煜
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  257-261
    摘要: 基于蠕动运动原理,利用超磁致伸缩材料作为驱动元件研制了直线式蠕动进给机构,同时还研制了压电陶瓷-柔性框架式蠕动进给机构.后者放置于前者之上,构成了具有毫米级行程、纳米级定位精度的XY二维精密...
  • 作者: 刘书桂 张国雄 王学影 王斌
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  262-267
    摘要: 关节臂式柔性三坐标测量系统是一种新颖的基于旋转关节和转动臂的三坐标测量系统,以角度测量基准取代了长度测量基准,它具有量程大、体积小、重量轻及使用灵活等优点.首先基于Denavit-Harte...
  • 作者: 姜歌东 孙挪刚 梅雪松 陶涛
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  268-272
    摘要: 用球杆仪和光栅尺同时测量了两轴联动精密工作台的走圆运动.结果显示,光栅尺的主要误差源是测量噪声和定位误差,球杆仪的主要误差源是定位误差.尽管对于单轴实时位置反馈来说,光栅尺的测量精度已经足够...
  • 作者: 吴亚雷 朱龙洋 褚家如 许晓慧 鲁健
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  273-277
    摘要: 品质因数(Q值)是影向微悬臂梁设备灵敏度的关键因素.针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质...
  • 作者: 杨密 牟新明 王建华
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  278-282
    摘要: 为了提高平行簧片机构的导向精度,对平行簧片机构进行了力学分析和计算.运用材料力学理论方法,对平行簧片机构进行了精确的受力分析,建立力学模型,推导出了平行簧片机构在外力作用下产生变形的计算公式...
  • 作者: 宋飞 王奕松 王欣 陈兢
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  283-289
    摘要: 提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计.根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的线性度.系统刚度可由静电力调节.为了提高电学灵敏度,在检测电容极板上...
  • 作者: 余海燕 肖松山 范世福 陈禾
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  290-294
    摘要: 微流控芯片是"芯片实验室"发展的重点,微混合器是微流控芯片的重要作用形式,在微尺寸下获得高效混合是重要的研究方向.采用Fluent软件对T型管两液流混合过程进行了数值模拟,对三种典型速度流型...
  • 作者: 丁建宁 王权 程广贵
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  295-298
    摘要: 在航空航天领域飞行器的微型化进程中,各种推进器必须携带燃料,这增加了系统的复杂性.有效提取真空中的"零点能"并以此作为驱动能源,可以消除长期以来微型飞行器须携带燃料的问题.从理论上阐述了真空...
  • 作者: 傅星 李梦超 胡小唐
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  299-302
    摘要: 微振动是提高纳米测量精度的主要障碍,为了减小微振动在STM测量中的影响,需要对微振动进行隔离和检测.因此,抗振、隔振及振动补偿技术成为了纳米测量领域的一大分支.设计了基于隧道效应的纳米级振动...
  • 作者: 修向前 刘斌 张荣 施毅 朱顺明 江若琏 谢自力 赵红 郑有炓 韩平 顾书林
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  303-306
    摘要: InN材料具有着巨大的应用潜力,伴随着本身特性的揭秘,已成为最近两年内最热门的研究材料之一.介绍了InN纳米线的基本特性,讨论了InN纳米线材料的制备技术及其应用.利用CVD法研制的GaN纳...
  • 作者: GENDA Satoshi KIYONO Satoshi KUDO Yasuto Patten A John 高伟
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  307-313
    摘要: 给出了一种用于复杂表面形状精密纳米加工的探针装置.该探针由一个高速可控的金刚石切割单元(FTC单元)和一个高灵敏度的压电式力传感器组成.而FTC单元由一个单点金刚石切割工具和一个压电陶瓷晶体...
  • 作者: 朱涛 李艳秋
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  314-318
    摘要: 作为极紫外光刻机的一个关键子系统,真空工件台的精度、速度、加速度、动态特性及同步性能对于光刻图形精度和光刻机的产率都起着重要作用.设计了一种适用于极紫外光刻机的真空工件台系统,该系统具有体积...

纳米技术与精密工程(英文)基本信息

刊名 纳米技术与精密工程(英文) 主编 胡小唐
曾用名 纳米技术与精密工程
主办单位 天津大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 季刊 语种
eng
ISSN 1672-6030 CN 12-1458/03
邮编 300072 电子邮箱 namijishu@tju.edu.cn
电话 022-27892181 网址 http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/
地址 天津市南开区卫津路92号

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