一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计

• 作者: 宋飞 王奕松 王欣 陈兢
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 横向敏感 刚度调节 高K介质 电容式加速度计
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 283-289
• 页数: 7页
• 分类号: TN824.4
• 字数: 3579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.04.008

摘要

提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计.根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的线性度.系统刚度可由静电力调节.为了提高电学灵敏度,在检测电容极板上设计高K介质层,增大了检测电容量,减小了杂散电容的影响.使用CoventorWare对本设计进行机械分析、力电耦合分析和模态分析,仿真结果与理论计算相吻合.加速度计使用简单的表面牺牲层工艺即可完成,具有很好的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欣	北京大学微电子学研究院	90	716	14.0	24.0
2	宋飞	北京大学微电子学研究院	8	68	4.0	8.0
3	陈兢	北京大学微电子学研究院	7	27	4.0	5.0
4	王奕松	北京大学微电子学研究院	1	7	1.0	1.0