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微纳电子技术2002年第11期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 2001<国际半导体技术指南(ITRS)>规划出半导体技术未来15年内的发展.它主要强调芯片特征尺寸的进一步缩小,2001年0.13μm,2004年90 nm,2007年70 nm,2010...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 介绍了原位电化学方法在半导体表面制备纳米尺寸肖特基势垒的工艺,讨论了其制备原理和实验条件,描述了纳米尺度金属/半导体界面特性,并对这种方法制备的肖特基势垒与传统方法制备的肖特基势垒进行了比较...
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3. 快闪器件研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 快闪存储器由于其所具有的非挥发电可编程和片擦除特性,在嵌入式应用中有望取代SRAM、DRAM以及磁性存储器,并愈来愈受到重视,产品的市场占有率稳步上升,近10年来发展迅速.随着嵌入式系统和移...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 在共混的两种低维聚合物量子线中,采用分子自组装技术制备了嵌段低维聚合物纳米线的异质结构,通过对室温下吸收光谱、发光光谱和激发光谱的研究,证实了在这种嵌段低维聚合物纳米线的异质结构中存在很强的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 采用以无机盐为基础的新型溶胶-凝胶法合成了固体电解质NASICON材料.合成过程中,通过向原溶液中添加草酸作络合剂,有效降低了烧结温度,缩短了烧结时间.实验中,利用XRD、TEM等分析测试手...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 重点研究由CdO-SnO2-WO3系列(以下简称Cd-Sn-W)和CdO-Sb2O3-WO3系列(以下简称Cd-Sb-W)及由它们共同组成的双基体三相(Cd2Sb2O7、CdSnO3、CdW...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响.已经加工出的微加速度计...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 介绍了一种新型的隔离放大电路,采用微机械开关实现"飞电容"结构.这种隔离放大电路具有许多优点:电路结构简单、尺寸小、成本低、隔离电压高、电磁兼容性能优良,很容易组成多通道隔离电路等;在30 ...
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9. 掩模制作中的邻近效应刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 计算模拟了激光束和电子束直写加工的掩模畸变,并分别用理想掩模和有畸变的掩模进行投影光学光刻过程的模拟和比较,讨论了光学邻近效应校正掩模在加工过程中所产生的畸变对传递到最终基片上的图形的影响....
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10. 半导体微细加工中的刻蚀设备及工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要： 与传统湿法腐蚀比较,干法刻蚀具有各向异性、对不同材料选择比差别较大、均匀性与重复性好、易于实现自动连续生产等优点.目前,刻蚀技术已经成为集成电路生产中的标准技术,干法刻蚀设备亦成为关键设备....
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11. 美、日、欧盟纳米研究动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要：
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12. 国内纳米材料研究与应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要：
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13. 北京创威纳科技有限公司刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2002年11期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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