微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 刘静 白晓丹
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  1-12
    摘要: 归纳和总结了微系统热学加工技术方面的最新研究进展,着重讨论从材料的热学性质出发,实现微/纳电子机械系统元件制造的若干新颖、低成本的方法,并特别介绍其中一些典型应用情况.通过分析表明,随着对微...
  • 作者: 孔祥东 宋会英 张玉林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  13-18,27
    摘要: 介绍了LIGA(lithographie,galvanoformung and abformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like-LIGA)技术、SLIGA(sacnfi...
  • 作者: 万江文 刘梅刚
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  19-23
    摘要: 光开关是未来全光网络中是目前最有前景的光器件制作技术之一.本文简要论述了MEMS光开关与其他类型光开关的区别,介绍了MEMS光开关的特性,并分别就二维、三维及最近提出的一维MEMS光开关进行...
  • 作者: 吕苗 顾洪明 高葆新
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  24-27
    摘要: 提出了采用陷波电路结构来补偿串联RF MEMS开关断开时的耦合电容,提高其隔离度的一种方法.理论分析显示,采用这种方法,在2~5 GHz的频率范围内,可以使开关的隔离度最多提高15.6dB,...
  • 作者: 孙长敬 褚家如
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  28-32
    摘要: 介绍了基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术,给出了各种微流体混合器的结构、原理和特点,同时对微管道中流体混合的仿真、实验技术以及微管道中微量流体混合程度的评价方法等作了概述.
  • 作者: 苏宇锋 陈文元
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  33-40,55
    摘要: 基于微加工技术的微流体系统是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域.本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作原理以及国内外研究现状.
  • 作者: 康春霞 贾建援 黄新波
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  41-44
    摘要: 利用扩散阀/喷嘴的流体特性设计了一种无活动阀压电式微泵;应用小挠度弹性弯曲理论,导出圆形压电复合层薄板的弹性曲面微分方程和复合层薄板的中性面位置方程;应用压电理论导出压电薄膜的边缘电场分布;...
  • 作者: 秦明 高冬晖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  45-51
    摘要: 在介绍硅热流量传感器的工作原理、工艺方法的基础上,重点给出了目前硅热流量传感器特别是风速计的几种常用结构以及相应的封装形式,并对每种结构及其封装形式的优缺点进行了分析.最后对硅热流量传感器封...
  • 作者: 吕苗 杨文钊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  52-55
    摘要: MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧毁功率达到35.1dBm.解剖分析了烧毁样品,对功率烧...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年5期
    页码:  56-56
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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