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微纳电子技术2006年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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16974
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91. 等离子淋浴在离子注入工艺中的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年9期页码:摘要： 阐述了等离子淋浴技术的工作原理和特点.介绍了在离子注入工艺中采用等离子淋浴来中和晶片表面的电荷积累,可将晶片表面的电荷积累电压控制在安全范围;应用等离子淋浴实现低能离子束的电中性传输,可提高...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 从自洽求解二维泊松方程和薛定谔方程出发,研究了纵、横向电场作用下GaN HFET沟道中的电子态和夹断特性.建立了不同异质结构和电场梯度下的电荷控制模型;运用热电子隧穿电流崩塌模型解释了强场电...
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93. 微纳级双极晶体管的热耗散研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 对于双极性晶体管,由于自身存在的自加热现象,严重地影响着器件的特性.基于热电流方程、泊松方程及电流密度方程,在二维器件仿真环境下,进行了微纳级小尺寸npn双极性晶体管热现象的器件物理特性分析...
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94. 低k介质与铜互连集成工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 阐明了低k介质与铜互连集成工艺取代传统铝工艺在集成电路制造中所发挥的关键作用.依照工艺流程,介绍了如何具体实现IC制造多层互连工艺:嵌入式工艺、低k介质与平坦化、铜电镀工艺与平坦化;阐述了工...
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95. 空心微球结构材料的制备及应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 综述了国内外空心微球结构材料的制备方法,包括自组装法、模板-界面聚合法、喷雾反应法、乳液法等.对空心微球结构材料在不同领域中的最新研究进展做了评述.
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96. 提高Si量子点发光强度的途径刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 探讨了提高Si量子点发光强度的可能途径.这些方法主要包括:采用高密度和小尺寸的有序Si量子点、光学微腔结构、表面钝化处理技术和稀土发光中心掺杂.
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 基于MEMS的生物微喷点样技术研究是当今药物分配领域中的热点.与传统方法相比,微喷点样技术具有体积小、操作简便、速度快等优点.对近几年微喷点样技术的研究新进展进行了综述,按照驱动方式的不同对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 介绍了能提取脑电信号电路系统研制的重要性和可能性.通过把最新的微电子技术运用到脑电生物信号的提取领域,提出了一种用于脑神经电信号提取的电极芯片的解决方案,并对方案中所涉及的关键技术和系统组成...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 研究了紫外纳米压印技术的图形转移层工艺,通过改变膜厚进行压印对比实验,将转速控制在3000～4000 r/min,成功地得到了50 nm光栅结构的高保真图形,复型精度可以达到93.75%.同...
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100. CLBO晶体化学机械抛光技术的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 介绍了硼酸锂铯(CLBO)晶体的应用前景及在化学机械抛光过程中存在的问题,简要分析了晶体在常温下开裂的机理,选用无水溶剂对晶体进行化学机械抛光以防止加工过程中晶体的潮解开裂.分析了抛光液、压...
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101. 纳米材料的测试与表征刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年10期页码:摘要： 介绍了纳米材料的特性及测试与表征.综合使用各种不同的分析和表征方法,可对纳米材料的结构和性能进行有效研究.
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102. 纪念中国第一只晶体管诞生50周年刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 50年前,中国自行研制的第一个晶体管在应用物理研究所半导体器件实验室诞生了.本文介绍了参加第一次研制的工作人员以及他们克服各种困难,研制出锗pnp合金三极管的过程.
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103. 后CMOS器件的候选者刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 介绍了几种后CMOS器件可能的候选器件:谐振隧道器件、单电子晶体管、碳纳米管晶体管、分子器件和自旋晶体管.
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 在共振隧穿二极管(RTD)的MBE生长中,用双生长速率和束流调制技术实现了RTDnm级薄层的精细控制;用X射线双晶衍射仪扫描并分析了典型双势垒RTD样品的衍射摇摆曲线;用计算机对样品结构进行...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 对量子阱红外探测器研制中通常采用的铟膜制备和铟柱生长技术进行了研究.从铟源的选择及蒸发的方法、距离、真空度的控制等方面做了大量实验,优化出了最佳工艺条件.铟源的纯度99.99%,电子束蒸发厚...
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106. 纳米薄膜太阳能电池刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 介绍了纳米薄膜太阳能电池的基本原理与分类,比较了纳米薄膜太阳能电池与传统固态结太阳能电池的优劣,得出了虽然目前纳米薄膜太阳能电池转换效率还无法与传统固态结太阳能电池相比,但由于其制造成本低廉...
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107. 分子模拟中碳纳米管模型建立原理分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 分子模拟是研究碳纳米管结构、性能和应用的重要途径,碳纳米管模型的建立是分子模拟的基础.从碳纳米管中碳原子之间的几何关系出发,以扶手椅型单壁碳纳米管为例,确定了一个supercell中所有碳原...
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108. 准一维半导体纳米材料的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 探索准一维纳米结构材料的维数和尺寸,对其光学、电学和力学等性质的影响有很大的研究价值.介绍了半导体纳米棒、纳米线、纳米带等典型准一维纳米材料的一些最新研究进展,并对准一维纳米材料的研究趋势作...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 研究了由J.Bourgoin和M.Lannoo提出的半导体内Jahn-Teller畸变效应的计算理论.应用Bourgoin和Lannoo的方法研究了含中心氮杂质金刚石结构的Jahn-Tell...
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110. 神经工程系统中的微电极技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 神经工程系统对人们揭示神经系统的工作机理以及探索神经疾病治疗和康复的有效手段具有重要意义,而微电极是神经工程系统中最关键的部件.从微电极的形式、材料和性能评价等几个方面对国际上应用于神经工程...
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111. Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 根据Suhir的双金属带的热应力分布理论,建立了Si/Si直接键合界面应力模型,推导出了由于高温引起的正应力、剪切应力和剥离应力的解析方程.并且应用模拟软件Matlab对热应力进行了模拟,直...
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112. 激光共聚焦生物芯片扫描中的自动调焦刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 计算图像高频分量进行成像的调焦是自动调焦的方法之一.通过对调焦评价函数的分析,根据激光共聚焦生物芯片扫描的成像特点,提出了一种调焦评价函数-像素灰度差绝对值求和法.运用爬山搜索算法进行多次重...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年11期页码:摘要： 阐明了化学机械抛光(CMP)工艺在集成电路制造中所发挥的关键作用,介绍了作为IC多层布线层间介质SiO2的化学机械抛光机理及其抛光液在化学机械抛光中扮演的重要角色,着重分析了影响SiO2介质...
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114. 一种新的自旋量子效应——电流感应磁化翻转刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年12期页码:摘要： 电流感应的磁化翻转效应是近年来继巨磁阻效应(GMR)和隧道磁阻效应(TMR)之后提出的一种nm尺度下新的自旋相关效应,在无外加磁场的情况下,垂直于铁磁层平面的自旋极化电流就能引起铁磁层的磁化...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年12期页码:摘要： RTD交流小信号等效电路模型是分析RTD交流特性的基础,也是用网络分析仪测量S参数,拟合提取交流参数和计算截止频率fR的依据.精确、合理的等效电路模型有助于深入理解RTD的工作原理,也对RT...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年12期页码:摘要： 表征RTD器件特性和性能的参数分为直流负阻、等效电路及频率响应和开关时间三类.系统全面地介绍这三类参数及其测量方法,为测量和评价RTD的器件性能打下良好的基础.
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年12期页码:摘要： 采用水热法在p-Si(111)衬底上生长出六棱ZnO微管,在空气中进行了300～600 ℃不同温度的热处理,并用XRD、XPS、PL谱研究了热处理对ZnO微管的结构、发光性能的影响.结果表明...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年12期页码:摘要： 采用表面化学修饰法由络合剂DTPA对纳米磁性Fe3O4粒子进行表面化学修饰改性,制备出具有表面螯合性能的纳米磁性Fe3O4/DTPA复合粒子.用多种分析手段对复合粒子进行了性能表征.结果表明...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年12期页码:摘要： 利用射频磁控溅射技术及微细加工技术制备了三明治结构的CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜,在频率1～40 MHz下研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应,结果表明曲折状三明治结构多层膜的...
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120. 微流体系统驱动技术的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年12期页码:摘要： 微流体驱动大致可以分为两类:一类是从宏观流体驱动移植过来的驱动方式;另一类是根据微尺度下流体特性设计的驱动方式.对两类不同的驱动方式进行了介绍与比较,前者原理成熟,基本都符合经典流体理论,在...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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