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微纳电子技术2011年第9期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 传统方法在分析p-n结理论时仅仅关注了过剩少子的扩散电流,但是随着其浓度梯度的降低,扩散电流趋于零,则电流的连续性将难以理解.另外,如果仅仅考虑过剩少子的注入,则无法理解“中性区”的电中性(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 提出一种具有埋层低掺杂漏(BLD) SOI高压器件新结构.其机理是埋层附加电场调制耐压层电场,使漂移区电荷共享效应增强,降低沟道边缘电场,在漂移区中部产生新的电场峰.埋层电中性作用增加漂移区...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 针对SiC功率金属半导体场效应晶体管如何在实现高性能的同时保证器件长期稳定的工作,从金属半导体接触、器件制造过程中的台阶控制、氧化与钝化层的设计及器件背面金属化实现等方面进行了分析；并结合具...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 以二氧化硅颗粒作为模板、金纳米颗粒作为表面晶种的方法制备了壳厚度可控的镍空心球.得到的空心镍纳米球是由似针状的面心立方的镍纳米颗粒构成的,碱溶液处理过程不影响镍纳米壳的形貌.高温处理显示镍空...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 根据Ni-Mn-Ga合金靶材在磁控溅射过程中各元素溅射产额和靶材成分的不同,对薄膜成分的影响进行了分析,从而制备了马氏体转变温度高于室温的Ni55 Mn24.5 Ga20.5靶材.针对目前没...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 利用热丝化学气相沉积法,在真空腔中通过选择设定不同加热功率的热丝热解硅烷制备出一系列不同颗粒尺寸的硅纳米颗粒样品.透射电镜分析表明硅纳米颗粒具有结晶良好的纳晶结构.通过自然氧化钝化硅纳米颗粒...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 介绍了MEMS微针技术在微针制备工艺、力学和流体性能模拟以及透皮给药方面研究的近况.描述了硅、金属和聚合物材料的微针制备工艺,分析了这些材料在MEMS微针应用上的优缺点.比如硅微针制备工艺成...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 对目前正成为研究热点的微光机电(MOEMS)加速度计的原理和结构特点进行分析,总结了MOEMS加速度计的分类和发展趋势.针对微-纳光栅加速度计,分析了基于干涉效应的微米光栅加速度计和基于亚波...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法.另外针对同步扫描控制的难点,简...
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10. 阴离子对铜化学机械抛光的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 在化学机械抛光过程中,抛光液的组成对抛光速率和表面质量有重要影响.利用自制抛光液,研究了在过硫酸铵体系抛光液中不同阴离子(硝酸根离子、溴离子、氯离子)对抛光速率的影响；采用动电位极化扫描技术...
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11. 纳米台阶标准样板的制备和表征刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100 nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以...
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12. 纳米压印光刻胶刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要： 光刻胶是纳米压印的关键材料,其性能将影响压印图形复制精度、图形缺陷率和图形向底材转移时刻蚀选择性.提出了成膜性能、硬度黏度、固化速度、界面性质和抗刻蚀能力等压印光刻胶的性能指标.并根据工艺特...
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13. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年9期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
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