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微纳电子技术2013年第12期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 建立了时不变双量子阱系统状态转换的概率模型,量化分析了背景电荷对量子元胞自动机(QCA)择多逻辑门的影响.仿真结果表明,决策元胞处于各态概率既受背景电荷位置的影响,还与择多逻辑门的输入密切相...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 忆阻器是一种具有记忆特性的新型元器件,被认为是与电阻、电感和电容并肩的4个基本电路元件之一.给出了忆阻器性质的简化数学模型,借助数学模型的仿真结果,分析了忆阻器的记忆特性和开关功能.介绍了基...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 以二水氯化铜和硫脲为原料,聚乙烯吡咯烷酮为表面活性剂,不同体积比的酒精与去离子水为溶剂,通过水热法合成了硫化亚铜纳米球、纳米花与纳米棒三种形貌的晶体.通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电子束蒸发法在Si基GaN模板上先后淀积一层SiO2和Ni薄膜,接着在氮气中快速热退火(RTA)自组装生长Ni纳米点,最后以Ni纳米点为掩膜制备G...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 利用抗磁性材料在磁场中产生抗磁力,从而实现稳定的悬浮.提出了一种新型的抗磁悬浮振动能量采集器,通过提升永磁体与悬浮永磁体产生的磁吸力抵消悬浮永磁体的重力,两个热解石墨薄板与悬浮永磁体之间产生...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 将铂膜温度芯片和SOI压力芯片近距离装配在充油芯体内,进行真空充油后,温度和压力传感器芯片同时被硅油保护起来,再通过波纹膜膜片感受压力.由于温度芯片和压力芯片距离非常近,可以同时感受较小局部...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 采用射频磁控溅射在Si (100)衬底上制备不同溅射功率下的ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、台阶仪和光致发光(PL)谱等表征技术研究了溅射功率对ZnO薄膜的表面形貌...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 稳定性是评估抛光液性能的重要指标之一,其关系到抛光液的寿命及能否产业化.从多羟多胺络合剂的反应原理出发,先对强碱性和弱碱性络合剂组成的抛光液进行对比.考量铜去除速率和抛光液的pH值,由这两方...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 在铜化学机械抛光(CMP)中,双氧水易分解的不稳定性严重制约铜化学机械抛光速率.为了寻求一种稳定性好且氧化能力强的新型氧化液,采用电化学方法电解水基硫酸盐,得到了氧化性很强且稳定的过氧焦硫酸...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 采用自主研发的碱性铜布线抛光液,在300 mm化学机械平坦化平台上对铜镀膜去除速率一致性进行了实验研究,并对质量传递和速率一致性的关系进行了深入分析.研究结果表明,压力和流量变化对不同的抛光...
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11. 碱性条件下对铜-BTA的去除刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 为有效去除铜片表面难溶的、具有复杂结构的铜-BTA,主要对铜片清洗过程中起关键作用的清洗液的组分和浓度进行了研究.采用自主研发的FA/O Ⅱ型螯合剂作为清洗液,反复进行了大量实验.结果表明,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 阐述了硅片表面时间依赖性雾(TDH)的形成过程、颗粒分布、形态以及检测方法.时间依赖性雾产生的原因包括清洗后化学液体的残留、清洗后硅片的干燥程度、片盒的洁净度和干燥度、表面金属以及硅片存放的...
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13. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年12期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
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| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
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