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微纳电子技术2016年第10期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 以两端固支型Euler-Bernoulli梁与基板组成的纳米开关系统作为研究对象,分析了纳米开关结构吸合的稳定性.在考虑电场力与因量子波动效应产生的卡西米尔力的情况下,主要研究了热应力对碳纳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 通过水热法在泡沫镍基板上制备了一种新颖的三维叶片状Co3O4,通过X射线衍射(XRD)表征对该叶片状Co3O4进行物相分析,通过扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对其形貌和晶...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 综述了近年来国内外对镉系量子点细胞毒性的研究进展,对于大部分活体细胞镉系量子点普遍存在毒性,总结了细胞毒性产生的原因主要表现在三个方面:量子点表面物化特性、量子点尺寸和细胞微环境,由于细胞毒...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 针对医疗行业多指标检测的需求,利用微流控技术高通量的优势,设计出一款由离心力驱动的阵列化检测芯片.首先介绍了芯片所涉及的力学理论,并由此计算出阀的突破频率,然后用COMSOL软件仿真流体运动...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 在对细胞进行显微注射时,细胞姿态对注射后细胞的成活率有重要影响.基于PDMS微流控技术设计了一种在注射之前可调节细胞位置和姿态的显微注射芯片,芯片是由含微流道的PDMS和表面有微电极的石英基...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 将介电电泳(DEP)效应与生物分子亲和性捕获结合,利用负向介电电泳力克服细胞捕获过程中没有识别能力的非特异性吸附力的方法,减小非靶细胞吸附,提高捕获纯度.根据介电电泳原理,设计并制备了插齿电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 为了解决实际测量中单一测量方法存在的局限性,结合白光干涉测量技术与共聚焦测量技术,通过紧凑型部分共光路结构原则,设计并搭建了一套超精密表面形貌光学测量系统,实现微纳米几何形貌的三维重构与测量...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 利用HSQ具有的高分辨率、高反差和低边缘粗糙度等突出的优点并通过大量的工艺实验,摸索出电子束曝光剂量、显影液配比、显影时间和显影温度等优化条件,对电子束曝光剂量与线条宽度的关系进行了探索,有...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 为了研究射频磁控溅射温度对Love波器件ZnO波导层的影响机理,在溅射温度分别为25,50,100,150和200℃、本征真空度为4.0×10-4 Pa、溅射气压为5.4 Pa、溅射时间为4...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 研究了新型碱性铜布线抛光液的化学作用.通过改变FA/O螯合剂以及氧化剂H2O2的体积分数,分析了不同体积分数的FA/O螯合剂和氧化剂H2O2条件下对铜抛光速率、腐蚀电流以及静态腐蚀速率的影响...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 研发了一种新型的碱性抛光液,用于提高Si晶圆的抛光速率以及循环使用时的高速率稳定性.分析了FA/OⅡ型螯合剂与KOH调节剂对Si晶圆抛光速率的影响,单因素实验发现:当FA/OⅡ型螯合剂调节抛...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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