超精密表面形貌光学测量系统

• 作者: 傅云霞 李东升 李源 蔡潇雨 邵杨锋 雷李华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉测量 共聚焦测量 协调控制 三维重构 表面形貌测量
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 679-684,690
• 分类号: TB92|TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.10.007

摘要

为了解决实际测量中单一测量方法存在的局限性,结合白光干涉测量技术与共聚焦测量技术,通过紧凑型部分共光路结构原则,设计并搭建了一套超精密表面形貌光学测量系统,实现微纳米几何形貌的三维重构与测量.基于C#语言与DirectX 11开发组件,开发了上位机执行软件,实现了两种光学测量模式下硬件的协调控制及纳米标准样板表面形貌的三维重构.对台阶高度标定值为(98.8±0.6) nm的台阶标准样板进行测量,实验表明:用白光干涉测量模式和共聚焦测量模式分别实现了对台阶样板的大范围快速测量和小范围精密测量,10次测量的平均值分别为100.5和99.8 nm,标准差均小于2 nm,说明该系统能较好地满足微纳器件超精密表面形貌测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升		176	977	16.0	19.0
2	傅云霞		30	86	6.0	7.0
3	雷李华		15	48	4.0	6.0
4	李源		19	84	6.0	8.0
5	蔡潇雨		11	37	4.0	5.0
6	邵杨锋		2	7	1.0	2.0