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微纳电子技术2017年第7期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO2/Si衬底生长出MoS2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS2的存在;基于CVD生长的单层MoS2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 采用水热法合成氧化铁-石墨烯/二硫化钼(Fe2O3-rGO/MoS2)复合材料.使用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对复合材料的晶体结构和微观形貌进行分析和表征.测试结果表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 采用经典分子动力学方法探索了电场强度和富勒烯纳米颗粒浓度对水-富勒烯纳米流体在石墨烯纳米孔隙中Couette剪切流动特性的影响机理.结果表明:当剪切应变率超过临界剪切应变率时,边界滑移速率迅...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 基于负电晕放电原理的气体传感器利用局部高压电场将目标气体电离,根据电离特性对气体进行识别.采用MEMS技术制备硅尖阵列电极,利用电喷ZnO纳米颗粒对电极表面进行修饰,结合金平板正电极构建了多...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 综述了光泵原子磁力仪的发展过程及技术指标,介绍了基于MEMS的光泵原子磁力仪的现状,总结了光泵原子磁力仪的主要应用.对基于MEMS技术的光泵原子磁力仪的发展应用前景提出了建议,基于MEMS技...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 针对精确制导的应用需求,设计了一种量程为100g“三明治”电容式加速度传感器,通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析,并通过Matlab分析、优化...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 针对轴对称壳形振动陀螺的工作机理与振动特性,提出了一种新颖的全对称U型梁MEMS环形波动陀螺,并分析了其工作原理、振动特性与敏感工作方式.在此基础上应用AN-SYS有限元分析软件建立了该环形...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 液滴的操控技术成为当今微流体技术的重要发展方向,气-液、气-固、固-液等界面问题日益突出.首先通过实验方法,研究了在水平固体表面液滴由温度梯度引起的热毛细迁移行为,从理论方面分析了温度梯度、...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 在Co化学机械抛光(CMP)过程中,Co的化学反应活性强于Cu,Co/Cu界面存在较大的电化学腐蚀电位差.采用动电位扫描电化学技术,表征金属铜钴表面的电化学反应.采用降低Cu/Co接触腐蚀电...
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10. 碳化硅ICP刻蚀的掩膜材料刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： SiC材料由于具有非常强的化学稳定性与机械硬度,不能用酸或碱性溶液对其进行腐蚀,在MEMS制备工艺中,通常采用干法刻蚀来制备SiC结构.针对干法刻蚀中遇到的问题,比较了光刻胶、Al和Ni等多...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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