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微纳电子技术2018年第3期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 阵列波导光栅(AWG)在密集波分复用(DWDM)光通信和芯片光谱仪中有广泛的应用.提出了一种可与光纤耦合的AWG芯片级封装结构,其特点是设计了三片式叠片结构,可实现波导和光纤的三维对准;通过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 提出硅基级联光栅石墨烯吸波器设计,该吸波器由波导层光栅和缓冲层光栅上下级联而成,采用小角度入射,利用波导模式耦合形成的非简并波导模共振实现石墨烯条光吸收效率的显著增强.计算表明,2°入射硅波...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 基于有限元仿真的方法对6 500 V 15 A 4H-SiC肖特基二极管开展了材料结构、有源区结型势垒肖特基(JBS)结构和终端保护结构的优化设计.基于4英寸(1英寸=2.54 cm)n型4...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 将具有高介电常数的钛酸钡(BaTiO3)纳米颗粒填充于室温硫化硅胶中,制备出复合纳米聚合物薄膜.采用复合纳米聚合物薄膜作为摩擦负性材料,聚酯纤维镀银导电布作为摩擦正性材料及电极材料,设计了接...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 报道了一种基于永磁体磁梯度场超高分辨检测机理的加速度传感方法.实验中,通过在聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性薄膜材料中心上表面嵌入永磁体,固定PDMS薄膜周边,悬空永磁体结构,制备了悬臂梁式永...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 根据固体波动陀螺的工作机理与振动特性,提出并制作了一种新颖的电容式全对称硅基MEMS环形波动陀螺谐振结构.设计了全对称双U形弹性梁环形敏感结构并进行了动力学分析.分析结果表明其工作模态的谐振...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 制作了一种BiFeO3纳米纤维压力传感器和测试装置,用测试装置对压力传感器进行测试,并对测试数据进行分析.采用BiFeO3纳米纤维作为敏感材料,利用微电子机械系统(MEMS)加工工艺制备出带...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 介绍了氨气传感器的制备和测试,利用原位聚合法将聚苯胺以多壁碳纳米管为核心进行聚合反应制备出介电纳米复合材料,将制备的介电纳米复合材料喷涂到传感器上作为气体传感器的敏感层,从而制备了复合材料的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 提出一种基于表面增强喇曼散射(SERS)效应的高灵敏、快捷、便携式的微量食品添加剂检测方法.采用光纤球结构,设计研发了一种光纤球结构表面包覆银纳米颗粒的高灵敏便携式SERS信号检测探针,并利...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 分别选用FA/O螯合剂和甘氨酸作为络合剂配置铜布线CMP抛光液,研究对比了两种抛光液的抛光速率、静态腐蚀溶解速率、平坦化以及稳定性.速率实验表明,抛光液中加入FA/O螯合剂和甘氨酸都可以显著...
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11. 纳米增材制造刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 增材制造技术(3D打印技术)是一种与减材制造相反的、根据三维数据把材料集中一体的加工过程.根据成型特点,常见的有几种不同的增材制造工艺,如光固化成型、材料挤出、粉末床熔合、片层压、定向能量沉...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 针对传统的低温硅-硅键合技术中,由于等离子体轰击硅片表面而导致硅面损伤、键合面积小、键合强度低等技术难题,通过研究3种不同的活化方式对粗糙度、键合面积、键合强度的影响,从而得出湿法与氧自由基...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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