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微纳电子技术2020年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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91. 铜基空气微同轴工艺技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成.与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离度、低损耗、高功率容量等特点...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 使用p+ n-n+外延结构制备了10 kV 4H-SiC pin二极管,在室温下通过时间分辨光致发光(TRPL)谱法在低掺杂外延层中测量载流子寿命,根据晶圆上大量二极管的电容-电压测量值估算...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 采用自对准工艺制备了1.2 kV 4H-SiC平面型和沟槽型MOSFET器件,并在90～490 K的温度范围内对4H-SiC MOSFET器件的静态和动态特性与商用1.2 kV Si IGB...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 凝胶电解质因兼具液体电解质和固体电解质的优势而备受关注,然而有限的离子电导率和比电容制约了其实际应用.在制备PVA-Li2SO4聚合物凝胶电解质基础上,添加LiI作为其氧化还原剂和增塑剂,以...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 对电磁屏蔽机理及碳纳米管/聚合物复合材料在电磁屏蔽领域的优势进行了简单阐述,重点从碳纳米管的分散方法和复合材料的制备方法介绍了碳纳米管在聚合物中的分散性对复合材料电磁屏蔽性能的影响,并对国内...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 采用液封直拉(LEC)法制备了掺Fe半绝缘磷化铟(InP)晶体,通过电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法和辉光放电质谱(GDMS)法等直接测试元素含量的方法研究了作为掺杂剂的Fe浓度分布和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 介绍了一种以石墨烯作为气敏材料的高灵敏度、快速响应的NH3气体传感器的制备与测试.该气体传感器制备工艺简单,仅需要在微电子机械系统(MEMS)工艺制备好的Au叉指电极上喷涂氧化还原处理后的石...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 首先,采用光刻工艺制备微结构基底,并利用低表面能的纳米颗粒对其修饰,制备出了四种具有不同微结构参数的超疏水表面.然后,利用金相显微镜和场发射扫描电子显微镜对所制备表面进行形貌表征,计算了表面...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 以聚苯乙烯(PS)微球为目标粒子,低电导率溶液为溶剂,基于介电泳操纵PS微球,结果表明四电极结构的阵列芯片下存在两种可控定位方式.室温条件下调控交流信号的电压与频率,结果表明,当电压为2Vp...
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100. 基于MEMS电子听诊器的冠心病心音检测刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 设计了一台微电子机械系统(MEMS)电子听诊器,并应用于冠心病心音的检测中.首先,介绍了MEMS电子听诊器核心敏感单元微结构设计原理,并得出了ANSYS仿真环境中的应力和谐振频率均适用于检测...
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101. GaSb热光伏电池的p层设计优化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： GaSb热光伏电池结构中的p-GaSb层是主要的光子吸收区.为了改善p-GaSb层的性能从而提高电池的转换效率等指标,首先研究了不同衬底温度和电池前电极对p-GaSb薄膜材料性能的影响,然后...
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102. 基于Surfscan的椭圆缺陷测量刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年8期页码:摘要： 为满足快速准确测量分子束外延(MBE)生长的GaAs表面椭圆缺陷,提出了基于表面颗粒度扫描仪(Surfscan)测量椭圆缺陷的方法.根据理论计算,将Surf scan的测试模型由球形优化为更...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 研究了研削工艺中磨轮目数对被减薄碳化硅(SiC)表面和欧姆接触的影响,并基于减薄工艺和激光退火工艺成功制备出170 μm薄片SiC肖特基二极管.先后经过2 000目和7 000目磨轮减薄,衬...
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104. 不锈钢阳极氧化制备电极材料及其电化学性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 超级电容器是一种新型的储能器件,但活性电极材料往往为粉末状,需要额外的粘结剂涂覆到集流体上进行测试,不可避免地造成电化学性能的下降.以304型不锈钢作为基底,通过恒压阳极氧化法对不锈钢进行阳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 采用水热法成功制备了自组装而成的分级WO3纳米结构,并通过改变工艺参数来实现结构与形貌的调控.研究表明,水热酸碱环境对WO3的形貌特征及相结构的影响显著,弱酸性环境下得到的产物是球状的WO3...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 采用水热合成法,通过改变反应时间制备了一系列碳包覆银纳米粒子的Ag@C核壳纳米结构,并用其修饰丝网印刷电极制备测定双酚A (BPA)的高灵敏电化学传感器.扫描电子显微镜(SEM)结果显示,A...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 为了研究机械磨损、化学腐蚀对锗锑碲(GeSbTe)相变材料微观损伤行为的影响,利用原子力显微镜(AFM)及SiO2探针对GeSbTe表面在不同工况下产生的微观损伤进行了研究.实验结果表明:在...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 提高栅介质的界面质量和可靠性一直是功率碳化硅金属氧化物半导体(MOS)器件研发的核心任务之一.基于原子层沉积(ALD)技术,在n型4H-SiC上沉积了Al基高介电常数(k)栅介质材料AlON...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 提出了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)湿度传感器,利用铜环辅助滴铸法在LiNbO3表面制备氧化石墨烯薄膜作为湿度敏感层.建立了声表面波传感器叉指电极的三维传热模型,得到了基底表...
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110. 基于双锥纳米多孔薄膜的高性能电渗微泵刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 开发了一种具有高流速、长期稳定的低压电渗微泵芯片.该泵由厚度约12 μm、具有高密度双锥纳米孔(孔径约30 nm)的径迹刻蚀薄膜制成.研究证实其可实现低驱动电压(～10 V)下的高电渗流,最...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 基于金刚石氮空位(NV)色心的磁强计,其磁场检测的灵敏度与光探测磁共振(ODMR)的解调曲线最大斜率的倒数呈正比,而解调曲线的斜率主要取决于系统的微波调制参数.对磁强计的灵敏度与微波调制幅值...
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112. 微热压印制备三棱锥结构减反射薄膜刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 通过拉伸实验机的改装,采用平面对平面的微热压印方法,探究在聚氯乙烯(PVC)薄膜表面压印获得三棱锥阵列结构减反射薄膜的可行性,并利用正交实验研究了工艺参数(压印温度、保压时间和压印压力)对三...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 为了完成有源芯片上小孔径、高深宽比硅通孔(TSV)的制作,研究了基于电感耦合等离子体(ICP)技术的SiO2微孔深刻蚀工艺,实现了以C4 F8/Ar为刻蚀气体源、刻蚀速率为0.612 μm/...
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114. NV色心磁测量研究现状及发展趋势刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 综述了金刚石氮空位(NV)色心磁测量研究现状及发展趋势.对NV色心DC磁测量和AC磁测量主要方法进行了系统的对比分析,着重介绍了采用连续波光探测磁共振(CW-ODMR)方法检测DC磁场的发展...
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115. 高性能波导集成型锗/硅水平APD刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年10期页码:摘要： 相较于传统的吸收层-电荷层-倍增层分离(SACM)的锗/硅雪崩光电二极管(APD),水平APD器件结构及工艺流程简单,且从设计上避免了电荷层的杂质浓度控制的难题.选用绝缘体上硅(SOI)晶圆...
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116. WS2/MoS2异质结的制备与光电特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年10期页码:摘要： 主要研究了硫化钨(WS2)/硫化钼(MoS2)薄膜异质结的制备及其光电特性.首先以WS2粉末为原料,采用化学气相沉积(CVD)法在Si衬底上沉积WS2薄膜,然后以MoS2粉末为原料在WS2薄...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年10期页码:摘要： 以硝酸钴为前驱体、钛酸正丁酯为钛源,结合碳辅助溶胶-凝胶法制备Co3O4/TiO2异质结构纳米材料,并研究了产物对亚甲基蓝(MB)的光催化降解性能.氮吸附-脱附测试结果表明,颗粒平均粒径约为...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年10期页码:摘要： 选用BaO-Al2O3-B2O3-SiO2系微晶玻璃作为粉料,采用流延法制备生料带.研究了粘结剂质量分数、增塑剂和粘结剂质量比、微晶玻璃的质量分数(固含量)对生坯密度的影响.同时研究了烧结后...
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119. 基于SOI的压电薄膜式水听器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年10期页码:摘要： 针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器.该水听器由带有上下电极的压电薄膜以及绝缘体上硅(SOI)衬底组成....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年10期页码:摘要： 简述了碳和金属纳米材料基柔性应力传感器的材料、结构和制备工艺,以及在可穿戴电子设备中应用的研究现状.重点介绍了碳和金属纳米材料基柔性应力传感器灵敏度、稳定性及响应时间等性能的研究进展和阻碍因...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
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