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微纳电子技术2020年第9期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 研究了研削工艺中磨轮目数对被减薄碳化硅(SiC)表面和欧姆接触的影响,并基于减薄工艺和激光退火工艺成功制备出170 μm薄片SiC肖特基二极管.先后经过2 000目和7 000目磨轮减薄,衬...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 超级电容器是一种新型的储能器件,但活性电极材料往往为粉末状,需要额外的粘结剂涂覆到集流体上进行测试,不可避免地造成电化学性能的下降.以304型不锈钢作为基底,通过恒压阳极氧化法对不锈钢进行阳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 采用水热法成功制备了自组装而成的分级WO3纳米结构,并通过改变工艺参数来实现结构与形貌的调控.研究表明,水热酸碱环境对WO3的形貌特征及相结构的影响显著,弱酸性环境下得到的产物是球状的WO3...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 采用水热合成法,通过改变反应时间制备了一系列碳包覆银纳米粒子的Ag@C核壳纳米结构,并用其修饰丝网印刷电极制备测定双酚A (BPA)的高灵敏电化学传感器.扫描电子显微镜(SEM)结果显示,A...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 为了研究机械磨损、化学腐蚀对锗锑碲(GeSbTe)相变材料微观损伤行为的影响,利用原子力显微镜(AFM)及SiO2探针对GeSbTe表面在不同工况下产生的微观损伤进行了研究.实验结果表明:在...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 提高栅介质的界面质量和可靠性一直是功率碳化硅金属氧化物半导体(MOS)器件研发的核心任务之一.基于原子层沉积(ALD)技术,在n型4H-SiC上沉积了Al基高介电常数(k)栅介质材料AlON...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 提出了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)湿度传感器,利用铜环辅助滴铸法在LiNbO3表面制备氧化石墨烯薄膜作为湿度敏感层.建立了声表面波传感器叉指电极的三维传热模型,得到了基底表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 开发了一种具有高流速、长期稳定的低压电渗微泵芯片.该泵由厚度约12 μm、具有高密度双锥纳米孔(孔径约30 nm)的径迹刻蚀薄膜制成.研究证实其可实现低驱动电压(～10 V)下的高电渗流,最...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 基于金刚石氮空位(NV)色心的磁强计,其磁场检测的灵敏度与光探测磁共振(ODMR)的解调曲线最大斜率的倒数呈正比,而解调曲线的斜率主要取决于系统的微波调制参数.对磁强计的灵敏度与微波调制幅值...
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10. 微热压印制备三棱锥结构减反射薄膜刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 通过拉伸实验机的改装,采用平面对平面的微热压印方法,探究在聚氯乙烯(PVC)薄膜表面压印获得三棱锥阵列结构减反射薄膜的可行性,并利用正交实验研究了工艺参数(压印温度、保压时间和压印压力)对三...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 为了完成有源芯片上小孔径、高深宽比硅通孔(TSV)的制作,研究了基于电感耦合等离子体(ICP)技术的SiO2微孔深刻蚀工艺,实现了以C4 F8/Ar为刻蚀气体源、刻蚀速率为0.612 μm/...
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12. NV色心磁测量研究现状及发展趋势刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年9期页码:摘要： 综述了金刚石氮空位(NV)色心磁测量研究现状及发展趋势.对NV色心DC磁测量和AC磁测量主要方法进行了系统的对比分析,着重介绍了采用连续波光探测磁共振(CW-ODMR)方法检测DC磁场的发展...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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