微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22
文章浏览
目录
  • 作者: 李永 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  757-768
    摘要: MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件.当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段.从微结构、电子学控制、工艺平...
  • 作者: 葛威 张文磊 李廷鱼 郭丽芳 李刚
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  769-775,803
    摘要: 金属有机框架(MOF)具有高比表面积、结构丰富、孔道可调且含大量不饱和配位点等优点,但较差的导电性限制了其在电化学储能领域的应用.以溶剂热法的方式,通过调节N,N-二甲基甲酰胺(DMF)中溶...
  • 作者: 周顺风 张婕
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  776-782
    摘要: 聚合物基纳米复合材料具有高相对介电常数和良好机械性能,在柔性印刷电子领域应用广泛,广阔的市场需求也对其性能提出了越来越高的要求.采用原位聚合法制备了核壳结构的BaTiO3@PMMA复合材料,...
  • 作者: 温强 顼建乐 崔泽岳 李朋伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  783-788
    摘要: 氧化铁(Fe2O3)导电性能差、可见光吸收范围窄、电子-空穴对复合速率过快等一系列问题极大限制了其在光催化领域的应用.通过简单的水热法,调控葡萄糖的添加量,合成不同碳含量的γ-Fe2O3@C...
  • 作者: 李雅莉 徐毅 孙道恒 陈沁楠 方亮 海振银 崔在甫 李鑫 何功汉 崔金婷
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  789-795,826
    摘要: 在氧化铝衬底上采用直写工艺制备SiBCN前驱体陶瓷薄膜温度传感器,通过扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)以及多通道数字采集仪对薄膜的形貌、结构及电学性能进行了...
  • 作者: 郝西伟 申晨 景龑 潘晓彤 薛倩楠 程珍珍 张勇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  796-803
    摘要: 乙炔(C2H2)气体是变压器油中溶解的主要故障特征气体之一,乙炔气体检测是实现变压器故障在线监测的关键.现有的乙炔传感器存在灵敏度低、结构复杂等问题.采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺设...
  • 作者: 韩阳 黄河 赵世昌 吴川 宋尧 钱俊国 李佩泽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  804-811,850
    摘要: 气体流量是工农业生产及科学研究的重要控制参数,有必要进行实时测量.基于摩擦纳米发电机研制了一种具有自供电功能的气体流量传感器.传感器在气体流经时产生摩擦起电,从而输出与气体流量呈正比的摩擦电...
  • 作者: 青泽 牟东 廉璞 刘军 周铭
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  812-817
    摘要: 弹体在高速侵彻过程中的姿态偏转是影响其效能的重要因素,利用微电子机械系统(MEMS)陀螺仪进行姿态测量是监测弹体姿态变化的主要手段.针对侵彻弹体姿态测量对MEMS陀螺仪提出的抗高过载要求,采...
  • 作者: 罗智杰 许嘉志 潘仲宇 黄爱清 何积源 曹亮 刘双印
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  818-826
    摘要: 基于介电润湿(EWOD)效应的数字微流控(DMF)系统能实现微升级别的多个液滴移动、分裂、合成等操作.针对目前基于EWOD的DMF系统液滴生成和分裂精度不高、效率低、难以精准控制的问题,在传...
  • 作者: 张颖 张文磊 李廷鱼 郭丽芳 李刚
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  827-834
    摘要: 双金属氧化物因具有更多化合价态表现出比单金属氧化物更好的电化学性能,然而较差的导电性依然是限制其电化学性能的主要因素.选用泡沫镍为基底,首先利用水热法原位生长高比容量的MnMoO4·H2O纳...
  • 作者: 肖金 程伟 张彬 陈伟全
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  835-839
    摘要: 提出一种基于针状铜基微纳米材料的低温固态焊接方法.采用化学镀法制备出一种表面针状铜基微纳米阵列结构,铜针阵列高度为1~3 μm,根直径为1~2 μm.将锡基焊料置于具有这种形貌的基板上,在加...
  • 作者: 贾军朋 白欣娇 李晓波 崔素杭 李帅
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  840-844
    摘要: 通过开展双面机械抛光分组实验,探讨工艺参数对碳化硅(SiC)衬底总厚度变化(TTV)和材料去除率的影响.研究结果表明,设备转速越高、载荷压力越大,材料去除率越高;SiC衬底TTV随载荷压力与...
  • 作者: 栾晓东 徐克 张震 张若雨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年9期
    页码:  845-850
    摘要: 基于正交实验研究了抛光压力、相对转速、抛光液体积流量和表面活性剂体积分数四个因素对抛光速率一致性的影响,采用方差分析确定各因素对抛光速率一致性的显著影响.研究结果表明:各因素对抛光速率一致性...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊