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刊名：江西科学

发表时间：2009-04-01

摘要:

微流体芯片作为一种新型的生物芯片被广泛应用在生命科学等领域,而准分子激光在生物芯片加工过程中有着快速、可控和高效的特点,正逐渐应用于微流体芯片的制造,并有着广阔的发展前景.简要介绍了微流体芯片的技术特点,重点介绍了近年来国外基于微流体芯片制作的准分子激光微加工技术的研究进展和应用,分析了影响准分子激光加工微流体芯片技术发展的因素,并对此技术的今后发展趋势进行了展望.

准分子激光微加工微流体芯片光蚀刻

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2.【期刊】基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展

作者：刘逸轩周金运陈宇星

刊名：江西科学

发表时间：2009-04-01

摘要:

微流体芯片作为一种新型的生物芯片被广泛应用在生命科学等领域,而准分子激光在生物芯片加工过程中有着快速、可控和高效的特点,正逐渐应用于微流体芯片的制造,并有着广阔的发展前景.简要介绍了微流体芯片的技术特点,重点介绍了近年来国外基于微流体芯片制作的准分子激光微加工技术的研究进展和应用,分析了影响准分子激光加工微流体芯片技术发展的因素,并对此技术的今后发展趋势进行了展望.

准分子激光微加工微流体芯片光蚀刻

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3.【期刊】准分子激光微加工应用研究进展

作者：何立文方晓东

刊名：量子电子学报

发表时间：2018-06-01

摘要:

准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone,HAZ),有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景.介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势.

激光技术准分子激光微加工集成芯片3D封装微机电系统材料微加工

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