摘要:

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本发明公开了一种傅里叶变换移相标定的双波长调谐干涉测试装置及方法，测试装置采用不同中心波长的可调谐激光器作为光源同时进行工作，通过波长调谐实现干涉移相，并利用探测器采集两路干涉光叠加后形成的莫尔条纹干涉图。先对探测器采集得到的莫尔条纹干涉图进行时域傅里叶变换分析各频率分量，完成对移相步进量的标定，保证两种波长下的移相步进量；其次，作为光源的两个可调谐激光器按照标定后的移相步进量进行移相，采集得到包含了合成波长相位信息的移相莫尔条纹干涉图；最后，对移相莫尔条纹干涉图采用双波长移相干涉算法得到被测相位信息。本发明可扩大干涉测量的面形范围，单波长移相标定无需附加光路，光路结构和干涉图处理算法简单。

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本发明公开了一种斐索型双波长激光调谐移相干涉测试装置及测试方法，涉及光干涉测试领域，方法步骤为：首先，在斐索型干涉测试光路中，采用不同中心波长的两个可调谐激光器作为光源同时进行工作，通过波长调谐实现干涉移相，经二向色镜分光后，利用探测器采集到的两种波长下的移相干涉图对移相步进量进行标定，保证两种波长下的移相步进量分别为π/2和-π/2；其次，作为光源的两个可调谐激光器按照标定后的移相步进量进行移相，通过探测器采集两路干涉光叠加后形成的莫尔条纹干涉图，该干涉图包含了合成波长的相位信息；最后，对探测器采集的移相莫尔条纹干涉图采用双波长移相干涉算法得到被测相位信息。本发明可扩大干涉测量的面形范围，且干涉图处理算法简单。

摘要:

本发明提供相移及相倾可切换双模式干涉测量装置及方法，涉及光干涉计量测试领域，方法步骤为：首先，在干涉仪的参考镜处安装位移调整装置，可对参考镜进行平移或者倾斜调整。其次，干涉仪采用相移和相倾测试两种模式。在相移测试模式下，位移调整装置对参考镜位置进行等间隔平移调整，得到四幅相移干涉图，每一幅干涉图的相移量均为，干涉仪探测接收干涉图，并将其传入计算机，利用四步相移算法恢复待测件的被测相位；在相倾测试模式下，位移调整装置对参考镜进行推进以及倾斜调整，干涉仪探测接收大于6幅干涉图，并将其传入计算机，通过相倾干涉算法恢复待测件的被测相位。本发明结构简单，可在振动测量环境下得到高精度的干涉测量信息。

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本发明提供相移及相倾可切换双模式干涉测量装置及方法，涉及光干涉计量测试领域，方法步骤为：首先，在干涉仪的参考镜处安装位移调整装置，可对参考镜进行平移或者倾斜调整。其次，干涉仪采用相移和相倾测试两种模式。在相移测试模式下，位移调整装置对参考镜位置进行等间隔平移调整，得到四幅相移干涉图，每一幅干涉图的相移量均为，干涉仪探测接收干涉图，并将其传入计算机，利用四步相移算法恢复待测件的被测相位；在相倾测试模式下，位移调整装置对参考镜进行推进以及倾斜调整，干涉仪探测接收大于6幅干涉图，并将其传入计算机，通过相倾干涉算法恢复待测件的被测相位。本发明结构简单，可在振动测量环境下得到高精度的干涉测量信息。

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本发明公开了一种傅里叶变换移相标定的双波长调谐干涉测试装置及方法，测试装置采用不同中心波长的可调谐激光器作为光源同时进行工作，通过波长调谐实现干涉移相，并利用探测器采集两路干涉光叠加后形成的莫尔条纹干涉图。先对探测器采集得到的莫尔条纹干涉图进行时域傅里叶变换分析各频率分量，完成对移相步进量的标定，保证两种波长下的移相步进量；其次，作为光源的两个可调谐激光器按照标定后的移相步进量进行移相，采集得到包含了合成波长相位信息的移相莫尔条纹干涉图；最后，对移相莫尔条纹干涉图采用双波长移相干涉算法得到被测相位信息。本发明可扩大干涉测量的面形范围，单波长移相标定无需附加光路，光路结构和干涉图处理算法简单。