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【专利】
一种从硅片脱胶工序产生的废乳酸中回收乳酸的方法
发明人:
张奶玲
李新家
李向东
卞维真
姜飞霄
曹恒
申请人:
西安通鑫半导体辅料有限公司
公开时间:
2013-12-18
摘要:
本发明涉及一种从硅片脱胶工序产生的废乳酸中回收乳酸的方法,该方法首先向废乳酸中加入脱色剂,然后用物理方法进行固液分离,再经离子交换树脂除杂,最后用双效或三效蒸发器浓缩至成品。本发明可有效回收硅片脱胶工序产生的废乳酸中的乳酸,回收率高、环境污染小。回收乳酸可继续用于硅片脱胶,或用于镀镍、制革及清洗等行业,能显著降低硅片切割等企业生产成本,同时避免了废乳酸排放给环境造成的极大污染。
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2.
【专利】
一种高纯度高模数硅酸钾溶液及其制备方法
发明人:
张奶玲
曹恒
申请人:
西安通鑫半导体辅料有限公司
公开时间:
2020-05-29
摘要:
本发明公开了一种高纯度高模数硅酸钾溶液及其制备方法,包括以下步骤:配置获得质量百分比浓度为1%~15%的氢氧化钾溶液,加热升温到80~100℃;将硅源粉碎成微米级别后通过酸洗去除金属和有机杂质,然后用去离子水清洗至PH为6.0~8.0,获得精制后的超细硅源并加入氢氧化钾溶液中,获得硅酸钾水溶液并加入吸附剂,过滤去除硅酸钾溶液中的色素和物理杂质,获得高纯度硅酸钾水溶液并进行减压浓缩,获得高纯度高模数硅酸钾溶液。本发明的制备方法可制备一种纯度高,金属杂质含量低,无色透明,且模数达4.0~6.5的高模数硅酸钾溶液;其成本较低、环境友好。
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3.
【专利】
硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用的方法
发明人:
李向东
卞维真
郑刚
张奶玲
王亮
申请人:
西安通鑫半导体辅料有限公司
公开时间:
2015-01-21
摘要:
一种硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法,属于硅晶圆线切割领域,主要包括1)水冲洗;2)酸液浸泡;3)混合试剂浸泡;4)氧化剂浸泡;5)水养备用这五个步骤;解决了硅晶圆线切割液回收行业树脂失效后难复苏等问题。本发明引进的强氧化剂NaClO将杂质中大分子有机物氧化成小分子有机物,在高速搅拌的情况下,使其更容易与树脂分离。由于接触时间短,温度控制合理,对树脂的本体及交换基团无损坏。本发明针对由金属离子、可溶性金属络合物、可溶性硅化物、有机物等引起的离子交换树脂失效,复苏后离子交换能力均能明显恢复。通过实验检测和现场实践,复苏后离子交换树脂,其性能未发生改变,交换容量基本达到新树脂的水平。
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4.
【专利】
一种硅酸锂溶液及其制备方法
发明人:
曹恒
张奶玲
申请人:
西安通鑫半导体辅料有限公司
公开时间:
2020-05-05
摘要:
本发明公开了一种硅酸锂溶液及其制备方法,包括以下步骤:配置获得质量百分比浓度为1%~15%的电池级氢氧化锂溶液,加热升温到80~100℃;将硅源粉碎成微米级别后酸洗去除金属和有机杂质,然后用去离子水清洗至PH为6.0‑8.0,获得精制后的超细硅源并加入电池级氢氧化锂溶液中,获得硅酸锂水溶液;加入吸附剂,过滤去除硅酸锂溶液中的色素和物理杂质,获得精制的硅酸锂水溶液并进行减压浓缩。本发明的方法合成工艺能耗低,产品透明度高,不含杂质相;产物粒径均匀细小,可达到纳米级;产物为结晶态型的高纯度硅酸锂溶液,模数可达1.0~20。
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5.
【专利】
一种小粒径硅溶胶及其制备方法
发明人:
曹恒
张奶玲
申请人:
西安通鑫半导体辅料有限公司
公开时间:
2020-05-26
摘要:
本发明公开了一种小粒径硅溶胶及其制备方法,包括以下步骤:配置获得质量百分比浓度为1%~10%的碱溶液;向获得的碱溶液中加入分散剂,获得溶液A并加热升温到40~80℃;将硅源粉碎成纳米级颗粒,通过酸洗去除金属和有机杂质,然后用去离子水清洗至PH为6.5~7.5,获得精制后的硅源并加入溶液A中;反应液中硅含量不变时为反应终点,过滤得到小粒径硅溶胶稀溶液并加入吸附剂,过滤去除硅溶胶溶液中的色素和分散剂,获得精制的硅溶胶稀溶液;其中,所述小粒径硅溶胶的粒径小于等于8纳米;将精制的硅溶胶稀溶液进行浓缩,浓缩终点为硅溶胶水溶液的固含量为25%~30%。本发明的方法能够制备粒径小于等于8纳米,固含量达到25%~30%的硅溶胶。
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6.
【专利】
硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用的方法
发明人:
李向东
卞维真
郑刚
张奶玲
王亮
申请人:
西安通鑫半导体辅料有限公司
公开时间:
2013-12-25
摘要:
一种硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法,属于硅晶圆线切割领域,主要包括1)水冲洗;2)酸液浸泡;3)混合试剂浸泡;4)氧化剂浸泡;5)水养备用这五个步骤;解决了硅晶圆线切割液回收行业树脂失效后难复苏等问题。本发明引进的强氧化剂NaClO将杂质中大分子有机物氧化成小分子有机物,在高速搅拌的情况下,使其更容易与树脂分离。由于接触时间短,温度控制合理,对树脂的本体及交换基团无损坏。本发明针对由金属离子、可溶性金属络合物、可溶性硅化物、有机物等引起的离子交换树脂失效,复苏后离子交换能力均能明显恢复。通过实验检测和现场实践,复苏后离子交换树脂,其性能未发生改变,交换容量基本达到新树脂的水平。
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7.
【专利】
一种从硅片脱胶工序产生的废乳酸中回收乳酸的方法
发明人:
张奶玲
李新家
李向东
卞维真
姜飞霄
曹恒
申请人:
西安通鑫半导体辅料有限公司
公开时间:
2015-06-17
摘要:
本发明涉及一种从硅片脱胶工序产生的废乳酸中回收乳酸的方法,该方法首先向废乳酸中加入脱色剂,然后用物理方法进行固液分离,再经离子交换树脂除杂,最后用双效或三效蒸发器浓缩至成品。本发明可有效回收硅片脱胶工序产生的废乳酸中的乳酸,回收率高、环境污染小。回收乳酸可继续用于硅片脱胶,或用于镀镍、制革及清洗等行业,能显著降低硅片切割等企业生产成本,同时避免了废乳酸排放给环境造成的极大污染。
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