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1.
【专利】
光刻叠对校正以及光刻工艺
发明人:
洪爱真
李永尧
刘恒信
王景澄
王盈盈
申请人:
台湾积体电路制造股份有限公司
公开时间:
2019-12-06
摘要:
本发明的一些实施例揭露光刻叠对校正以及光刻工艺。根据本发明的一些实施例,一种方法包含:接收晶片;在所述晶片上方界定多个区;沿着第一方向,根据一方程式针对所述多个区的各者执行多区对准补偿;及根据所述多个补偿值,针对所述多个区的各者执行晶片对准及光刻曝光。逐区执行所述晶片对准及所述光刻曝光。
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2.
【专利】
置入散色条于微影工艺的方法
发明人:
何育如
洪爱真
谢弘璋
吕奎亮
张雅惠
申请人:
台湾积体电路制造股份有限公司
公开时间:
2016-11-23
摘要:
本发明公开了一种置入散色条于微影工艺的方法,该方法包括接收包含第一主要部件的集成电路设计布局,以及置入第一多个散色条于上述集成电路设计布局,以形成围绕于上述第一主要部件的第一环形图案的散色条。上述第一主要部件是设置于上述第一环形图案的散色条的一中央部分。本发明展现了改良聚焦深度、散色条印出窗口以及降低焦点位移。
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3.
【专利】
人绒毛膜促性腺激素重组多表位嵌合肽CP22抗原的分子设计及其制备方法
发明人:
徐万祥
谢毅
廖矛川
季朝能
何亚萍
顾少华
洪爱真
应康
王键
孙志达
申请人:
上海市计划生育科学研究所
公开时间:
2008-02-13
摘要:
本发明提供了人绒毛膜促性腺激素重组多表位嵌合肽CP22,它基本上由表位肽HBsAg
19-33
、表位肽HBcAg
85-140
和表位肽TT
580-599
,以及两组人绒毛膜促性腺激素β5表位肽、β8表位肽和β9表位肽组成。本发明还提供了编码该肽的核酸序列、含有该序列的表达载体和宿主细胞,以及该嵌合肽的制备方法。本发明的嵌合肽可用于制备治疗肿瘤和/或避孕的疫苗组合物。
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4.
【专利】
置入散色条于微影工艺的方法
发明人:
何育如
洪爱真
谢弘璋
吕奎亮
张雅惠
申请人:
台湾积体电路制造股份有限公司
公开时间:
2020-02-14
摘要:
本发明公开了一种置入散色条于微影工艺的方法,该方法包括接收包含第一主要部件的集成电路设计布局,以及置入第一多个散色条于上述集成电路设计布局,以形成围绕于上述第一主要部件的第一环形图案的散色条。上述第一主要部件是设置于上述第一环形图案的散色条的一中央部分。本发明展现了改良聚焦深度、散色条印出窗口以及降低焦点位移。
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5.
【专利】
用于光刻的场内过程控制
发明人:
洪爱真
黄晟砚
卢欣荣
曾衍迪
申请人:
台湾积体电路制造股份有限公司
公开时间:
2017-08-18
摘要:
本申请涉及用于光刻的场内过程控制。在一些实施例中,本申请案涉及一种用于光刻工具的过程控制的方法及系统。所述方法将参考图案转印到参考工件的曝光场以形成重叠参考层对。测量所述重叠参考层之间的未对准以形成第一基线映图及第二基线映图,且从所述第一基线映图及所述第二基线映图形成Δ基线映图。将生产图案转印到生产工件的曝光场以形成在第一生产层上方进行布置且与第一生产层对准的第二生产层。测量所述第一生产层与所述第二生产层之间的未对准以形成生产映图。变换所述Δ基线映图且随后与所述生产映图相加,以形成最终生产映图。基于所述最终生产映图更新处理工具的参数。
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6.
【专利】
人绒毛膜促性腺激素重组多表位嵌合肽CP22抗原的分子设计及其制备方法
发明人:
徐万祥
谢毅
廖矛川
季朝能
何亚萍
顾少华
洪爱真
应康
王键
孙志达
申请人:
上海市计划生育科学研究所
公开时间:
2006-08-02
摘要:
本发明提供了人绒毛膜促性腺激素重组多表位嵌合肽CP22,它基本上由表位肽HBsAg
19-33
、表位肽HBcAg
85-140
和表位肽TT5
80-599
,以及两组人绒毛膜促性腺激素β5表位肽、β8表位肽和β9表位肽组成。本发明还提供了编码该肽的核酸序列、含有该序列的表达载体和宿主细胞,以及该嵌合肽的制备方法。本发明的嵌合肽可用于制备治疗肿瘤和/或避孕的疫苗组合物。
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7.
【期刊】
NDRG3对前列腺癌细胞致癌潜能的影响
作者:
王伟群
李扬
李玉华
洪爱真
李润生
刊名:
吉林大学学报(医学版)
发表时间:
2008-06-01
摘要:
目的:研究过表达外源性和RNA干扰内源性NDRG3对前列腺癌细胞克隆形成的影响.方法:将NDRG3表达质粒稳定转染人类PC3前列腺癌细胞株,用1个NDRG3稳定表达亚克隆与做为对照的亲代和空质粒转染的PC3细胞进行克隆形成实验;同时利用RNA干扰技术沉默CL-1细胞的内源性NDRG3,并用Westernblotting技术进行鉴定,在对照组、GFP-siRNA组和NDRG3-siRNA组进行克隆形成实验.结果:过表达外源性NDRG3的PC3细胞形成的克隆数明显多于亲代和空质粒转染的PC3细胞株;在RNA干扰实验中,CL-1对照组和GFP-siRNA组形成的总克隆数和大克隆数均明显多于NDRG3-siRNA组(P<0.05).结论:NDRG3可以提高前列腺癌细胞的致癌潜能和克隆形成能力.
N-Myc下游调节基因
前列腺肿瘤
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