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DJ—2可变矩形电子束曝光系统偏转放大器
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文献信息
| 篇名 | DJ—2可变矩形电子束曝光系统偏转放大器 | ||
| 来源期刊 | LSI制造与测试 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 矩形 电子束 曝光系统 偏转放大器 | ||
| 年，卷（期） | lsizzycs_1989,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 14-19 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN405.985 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
矩形
电子束
曝光系统
偏转放大器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位：
上海光学仪器研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
31-1459/TN
开本：
出版地：
上海江西中路450号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
366
总下载数（次）
0
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