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氦质谱检漏仪真空系统的新进展—分子泵逆流检漏仪
氦质谱检漏仪真空系统的新进展—分子泵逆流检漏仪
作者:
罗世敏
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
氦质谱检漏仪
逆流原理
真空系统
摘要:
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文献信息
篇名
氦质谱检漏仪真空系统的新进展—分子泵逆流检漏仪
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
氦质谱检漏仪
逆流原理
真空系统
年,卷(期)
1989,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
11-28
页数
18页
分类号
TB774
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逆流原理
真空系统
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四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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395
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