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文献信息
篇名 氦质谱检漏仪真空系统的新进展—分子泵逆流检漏仪
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 氦质谱检漏仪 逆流原理 真空系统
年,卷(期) 1989,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 11-28
页数 18页 分类号 TB774
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研究主题发展历程
节点文献
氦质谱检漏仪
逆流原理
真空系统
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
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