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| 篇名 | 膜厚在线测量用的相关技术 | ||
| 来源期刊 | 激光与光学 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 簿膜 在线测量 相关法 厚度 | ||
| 年，卷（期） | jgygx_1989,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 26-31 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TQ320.721 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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