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文献信息
| 篇名 | 半导体生产设备用石墨纯度的提高 | ||
| 来源期刊 | 电碳 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 半导体 生产设备 石墨 纯度 | ||
| 年，卷（期） | dtb_1989,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 30-32 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN304.05 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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