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文献信息
| 篇名 | 炫耀光栅位移测量系统的精度试验 | ||
| 来源期刊 | 光学工程 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 炫耀光栅 位移测量 系统 精度 仪器 | ||
| 年，卷（期） | gxgc_1989,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 57-60,22 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TH822.06 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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