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半导体制冷
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半导体桥起爆黑索今研究
半导体桥
火工品
起爆
黑索今
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 半导体工厂的净化厂房
来源期刊 红讯半导体 学科 工学
关键词 半导体工厂 净化厂房 厂房
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 58-70
页数 13页 分类号 TN082
字数 语种
DOI
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
半导体工厂
净化厂房
厂房
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红讯半导体
双月刊
上海新肇周路1381号
出版文献量(篇)
37
总下载数(次)
0
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0
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