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半导体器件生产车间通风洁净空调系统节能分析
半导体器件生产生间
洁净空调系统
风量
节能
洁净厂房溶液调湿空调技术应用的节能研究
洁净厂房
空调节能
溶液调湿
节能分析
某万级洁净厂房空调系统设计
负荷计算
送风量
新风量
焓湿图
净化
洁净厂房建筑设计与节能
洁净厂房
建筑
设计
节能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 半导体行业洁净厂房空调系统的节能设计
来源期刊 机械电子节能 学科 工学
关键词 半导体 洁净室 空调系统 节能 设计
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 47-49
页数 3页 分类号 TN08
字数 语种 中文
DOI
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
半导体
洁净室
空调系统
节能
设计
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
机械电子节能
季刊
北京崇文区清华街49号
出版文献量(篇)
236
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