用于直流溅射的磁控管的设计

叶粳; 阿尔美达

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用于直流溅射的磁控管的设计

用于直流溅射的磁控管的设计

作者：

叶粳阿尔美达

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直流溅射

磁控管

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磁控溅射

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文献信息

篇名	用于直流溅射的磁控管的设计
来源期刊	四川真空	学科	工学
关键词	直流溅射磁控管设计磁控溅射
年，卷（期）	sczkb,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	69-75
页数	7页	分类号	TN123.05
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