直流溅射法制备SnO2纳米薄膜及其表征

• 作者: 刘敬茹 张蓓
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 直流溅射 SnO2 纳米薄膜 衬底 物相结构 膜厚公式
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 871-873,878
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.1+4
• 字数: 1522字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11973/lhjy-wl201712004

摘要

采用直流溅射法,以纯锡为靶材制备出了SnO2纳米薄膜,并利用X射线衍射仪、透射电镜及台阶仪对纳米薄膜的物相结构及厚度进行了分析测试.结果表明:采用单晶硅作为衬底时可以制备出晶态的SnO2纳米薄膜,该纳米薄膜由粒径几纳米到十几纳米的SnO2小颗粒组成,而采用载玻片作为衬底时则制备出了非晶态的SnO2纳米薄膜;通过控制溅射时间,可以得到一系列不同厚度的SnO2纳米薄膜,直流溅射法制备SnO2纳米薄膜的膜厚公式为d=0.29UIt(其中d为薄膜厚度,?,1?=0.1 nm;U为溅射电压,V;I为溅射电流,A;t为溅射时间,s).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张蓓	北京科技大学自然科学基础实验中心	18	73	6.0	7.0
2	刘敬茹	北京科技大学新金属材料国家实验室	5	3	1.0	1.0