射频溅射法研制SnO2纳米薄膜

• 作者: 刘庆业 刘明登 蒙冕武 邓希敏
• 来源期刊: 广西师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频溅射 β-Sn纳米薄膜 SnO2纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 64-67
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2668字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6600.2001.04.014

摘要

采用射频溅射工艺制得细小均匀的β-Sn纳米锡膜,然后通过氧化处理工艺获得组织非常细小均匀的纳米级二氧化锡薄膜.X-衍射实验结果表明Sn和SnO2晶粒尺寸分别约为6 nm和5 nm,采用该工艺获得的SnO2纳米薄膜结构比较稳定,为薄膜型SnO2气敏元件新工艺研究提供了基础性资料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆业	广西师范大学资源与环境学系	46	512	12.0	21.0
2	蒙冕武	广西师范大学资源与环境学系	71	366	10.0	16.0
3	邓希敏	广西师范大学资源与环境学系	6	34	3.0	5.0
4	刘明登	广西师范大学资源与环境学系	13	75	6.0	8.0