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国外实用电子束曝光系统
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文献信息
| 篇名 | 国外实用电子束曝光系统 | ||
| 来源期刊 | 航天出国考察技术报告 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 曝光机 电子束加工 电子束曝光 | ||
| 年，卷（期） | 1992,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 212-227 | |
| 页数 | 16页 | 分类号 | TG665 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
曝光机
电子束加工
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期刊影响力
航天出国考察技术报告
主办单位：
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市1408信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
428
总下载数（次）
2
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