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φ75MM硅片减薄装置
φ75MM硅片减薄装置
作者:
徐懋瑞
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅片
减薄装置
φ75MM
摘要:
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文献信息
篇名
φ75MM硅片减薄装置
来源期刊
延河集成电路
学科
工学
关键词
硅片
减薄装置
φ75MM
年,卷(期)
1992,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
67-68
页数
2页
分类号
TN304.12
字数
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
硅片
减薄装置
φ75MM
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
延河集成电路
主办单位:
西安81信箱延河无线电厂
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
11-2071/TN
开本:
出版地:
西安81信箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
54
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