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(φ)75mm双管单动采煤管在薄煤层及粉煤钻探中的应用
煤层取心钻探
(φ)75 mm双管单动采煤管
粉煤
薄煤层
薄壁圆管的减薄工艺
薄壁圆管
减薄
拉管
75mm 4°偏轴4H-SiC水平热壁式CVD外延生长
水平热壁式CVD
4H-SiC
同质外延
均匀性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 φ75MM硅片减薄装置
来源期刊 延河集成电路 学科 工学
关键词 硅片 减薄装置 φ75MM
年,卷(期) 1992,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 67-68
页数 2页 分类号 TN304.12
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
硅片
减薄装置
φ75MM
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
延河集成电路
月刊
11-2071/TN
西安81信箱
出版文献量(篇)
54
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0
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