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浅谈无铬钝化技术新发展
有机无铬钝化
钝化剂
膜层
隔离性
基于BioMEMS技术的DNA芯片研究
DNA芯片 微电子机械系统(MEMS) 生物微电子机械系统(Bio MEMS) 实验室芯片(Lab on a Chip) 微全分析系统(μTAS)
污染水体底泥原位钝化技术研究进展
水体底泥污染
钝化剂
原位钝化
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 芯片玻璃钝化技术述评
来源期刊 上海半导体 学科 工学
关键词 半导体器件 芯片 玻璃纯化
年,卷(期) 1992,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 47-52
页数 6页 分类号 TN305.2
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
半导体器件
芯片
玻璃纯化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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