论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 上海微电子技术和应用期刊 \
芯片玻璃钝化技术述评
推荐文章
采用双面玻璃钝化工艺制造的双向可控硅
结构
玻璃钝化
PN结
封装
浅谈无铬钝化技术新发展
有机无铬钝化
钝化剂
膜层
隔离性
基于BioMEMS技术的DNA芯片研究
DNA芯片 微电子机械系统(MEMS) 生物微电子机械系统(Bio MEMS) 实验室芯片(Lab on a Chip) 微全分析系统(μTAS)
污染水体底泥原位钝化技术研究进展
水体底泥污染
钝化剂
原位钝化
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 芯片玻璃钝化技术述评 | ||
| 来源期刊 | 上海半导体 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 半导体器件 芯片 玻璃纯化 | ||
| 年，卷（期） | shwdzjshyy_1992,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 47-52 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN305.2 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1992(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
半导体器件
芯片
玻璃纯化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位：
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-9453
CN：
31-1239/TN
开本：
出版地：
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
435
总下载数（次）
3
期刊文献
相关文献
推荐文献
