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质子交换
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折射率分布
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 质子注入LiNbO3的退火行为
来源期刊 上海半导体 学科 工学
关键词 质子注入 退火行为 LINBO3
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-9
页数 4页 分类号 TN305.3
字数 语种
DOI
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
质子注入
退火行为
LINBO3
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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0
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