质子交换LiNbO3波导表面裂纹的研究

• 作者: 刘永智 张谦述 戴基智 杨亚培
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 光波导 裂纹 晶相 质子交换法 XRD方法 红外吸收谱分析
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 385-389
• 页数: 5页
• 分类号: TN252
• 字数: 3338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2006.04.007

摘要

为了研究x切铌酸锂波导表面裂纹的产生机理及对波导性能的影响,采用对比实验、波导表面观察、XRD晶相分析、红外吸收谱分析等方法,比较了退火后波导的微观结构、表面情况、波导中H+存在形式和浓度变化特征.结果表明,质子交换铌酸锂波导表面裂纹是波导层应力顺晶体主解理面释放而产生的,具有4个特点:裂纹是交换过程造成的,裂纹间相互平行,裂纹程度与交换时间成正比,退火工艺对裂纹程度有所改善;裂纹是波导层应力大小的宏观体现;退火工艺可以调整波导层中H+的存在形式及其浓度,调整波导层晶相和应力大小,从而改善波导性能.可见纯质子交换波导层中多相并存,各晶相晶格常数差异较大造成应力,导致裂纹产生.提出α相波导的晶格变形小,引起的应力也小,可以减少裂纹产生,有助于提高波导质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘永智	电子科技大学光电信息学院	192	1583	19.0	29.0
2	戴基智	电子科技大学光电信息学院	53	304	10.0	14.0
3	杨亚培	电子科技大学光电信息学院	43	293	10.0	14.0
4	张谦述	电子科技大学光电信息学院	17	21	3.0	3.0