(001)SiO2衬底上LiNbO3光波导薄膜的制备

• 作者: 刘俊明 徐国跃 郭新立
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光器 光波导 淀积 光波导薄膜 LiNbO3(LN)
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 223-226
• 页数: 4页
• 分类号: O482.7|O484
• 字数: 1790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.1999.02.018

摘要

采用脉冲激光淀积技术,在(001)取向的SiO2衬底上制备了LiNbO3薄膜.为了防止淀积过程缺氧,往淀积腔内充入10～15Pa的流动氧气,淀积速度0.3～1.0nm/min,淀积时间1h,淀积结束后,充入0.6Pa的氧气,在650℃保温0.5h.采用x射线衍射和扫描电镜对LiNbO3薄膜的微观结构及表面形貌进行了检测.结果表明:LiNbO3薄膜具有(012),(024)典型的LiNbO3粉末晶体衍射峰,薄膜成分晶体结构比较纯净,而且薄膜表面光滑.利用棱镜耦合法将波长为0.638μm的激光束耦合到LiNbO3薄膜中,观察到LiNbO3薄膜具有较好的光波导性能,可望应用于非线性光学器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐国跃	南京航空航天大学材料科学与工程系	109	913	16.0	24.0
2	刘俊明	南京大学物理系	22	201	6.0	14.0
3	郭新立	南京航空航天大学材料科学与工程系	1	9	1.0	1.0