高精度微驱动装置的研究

• 作者: 朱日宏 陈进榜 陈道炯
• 来源期刊: 安徽工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 微驱动 参数识别
• 年，卷（期）: ahgxyxb_1992,（4）
• 页码范围: 66-73
• 页数: 8页
• 分类号: TM282

摘要

本文分析压电陶瓷式微驱动装置的工作原理及其运动模式,设计了具有参数识别与自校正功能控制系统,改善了微驱动装置的性能,提高了驱动精度。在应用于国家光学计量仪器上,其性能指标达到国际同类产品先进水平。