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摘要:
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文献信息
篇名 新型介质膜碳氮化硅的SIMS与FTIR分析
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 碳氮化硅 介质膜 SIMS谱 FTIR 分析
年,卷(期) 1993,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 68-72
页数 5页 分类号 TN304.24
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研究主题发展历程
节点文献
碳氮化硅
介质膜
SIMS谱
FTIR
分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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