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上海软X射线自由电子激光装置联锁保护系统
联锁保护系统
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主站点
高增益自由电子激光光阴极注入器驱动激光系统设计考虑
光阴极微波电子枪
驱动激光器
高增益自由电子激光
上海软X射线自由电子激光腔式束流位置测量系统
上海软X射线自由电子激光
腔式束流位置测量系统
性能评估
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 极紫外自由电子激光投影光刻系统
来源期刊 光机电世界 学科 工学
关键词 自由电子激光 光刻 光学系统
年,卷(期) 1993,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 37-49
页数 13页 分类号 TN405.7
字数 语种 中文
DOI
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1993(0)
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研究主题发展历程
节点文献
自由电子激光
光刻
光学系统
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光机电世界
月刊
CN 22-1142/TH
长春市1024信箱
出版文献量(篇)
195
总下载数(次)
1
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