光刻机投影物镜的温度控制算法

• 作者: 张玲莉 李小平 聂宏飞
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 温度控制 PI算法 多模态 智能决策 双输入双输出
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1135-1139
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 字数: 4318字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.10.001

摘要

针对光刻机媒质远传温控系统的大惯性、多重时滞和多重扰动特征,提出了双输入双输出多模态非线性PI控制算法来提高温控过程的收敛速度和稳态精度.算法将温控系统从启动到稳定划分为5个控制模态,下层采用非线性PI算法实现精确控制,上层利用智能决策实现多模态的选择和切换.该算法已被成功运用于光刻机投影物镜温度控制系统中,实现了投影物镜温度控制的快速收敛,使光刻机在±0.006℃范围内稳定工作,对比实验进一步显示该算法具有较强的鲁棒性和自适应性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小平	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	26	220	9.0	14.0
2	张玲莉		7	20	3.0	4.0
3	聂宏飞	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	4	75	4.0	4.0