光刻机的防死锁调度

• 作者: 何晓晻 吴智铭
• 来源期刊: 微型电脑应用
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 光刻机 无死锁调度
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TP311.11
• 字数: 2714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-757X.2008.06.018

摘要

半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统之一.光刻机是半导体晶圆制造的瓶颈设备,其费用相当昂贵.光刻机由若干个自动组合装置组成,如果调度不当,生产可能会出现死锁.死锁的发生不仅大大降低光刻机的效率,而且破坏晶圆质量.本文利用图论的算法编制软件并进行仿真可以得到无死锁的调度方案.