PERKIN-ELMER 340光刻机的匹配研究

• 作者: 吴春瑜 王卫民 陈东石 黄路秋
• 来源期刊: 辽宁大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描畸变 交叉畸变 匹配
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 348-349
• 页数: 2页
• 分类号: TN312
• 字数: 921字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2005.04.018

摘要

叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨.最后给出了试验数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴春瑜	辽宁大学物理系	56	150	6.0	9.0
2	黄路秋	辽宁大学物理系	1	1	1.0	1.0
3	陈东石		1	1	1.0	1.0
4	王卫民		1	1	1.0	1.0