光刻机外型设计新理念

• 作者: 蒋薇 赵立新
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 形态 色彩 材质 人机工程学 技术经济性 绿色设计
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 41-43
• 分类号: TB472
• 语种: 中文

摘要

光刻机是微纳器件的重要加工设备之一,推动着电子工业的不断发展.研发人员在设计过程中首要关注的是其功能的多样性、可靠性、实用性以及设备的经济性等方面.与其主要强调功能相比,外型设计往往容易被忽视,而良好的外型对用户的使用和感官意义重大.光刻机外型主要包括形态、色彩、材质、人机工程学、技术经济性以及绿色设计等方面,文章对此展开全面分析,提出了一套可行的光刻机外型设计理念.为光刻机外型设计指明了方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋薇	中国科学院光电技术研究所	4	5	1.0	2.0
2	赵立新	中国科学院光电技术研究所	38	346	12.0	17.0