步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究

• 作者: 吴运新 杨辅强 邓习树
• 来源期刊: 噪声与振动控制
• 学科: 工学
• 关键词: 振动与波 步进扫描式光刻机 主动减振 试验研究
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 3-5
• 页数: 3页
• 分类号: TH113.1
• 字数: 1642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1355.2008.04.002

摘要

根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究.测试结果表明,步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统,能有效降低光刻机工作过程中运动部件对工作平台的冲击,具有良好的减振效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓习树	中南大学机电工程学院	17	186	9.0	13.0
2	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
3	杨辅强	中南大学机电工程学院	7	27	3.0	4.0