Nikon光刻机激光步进对准系统研究

• 作者: 罗涛
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 对准 LSA 标记 指标
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0812

摘要

介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA).从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗涛		1	1	1.0	1.0