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用CF4等离子体对GaAs表面进行低温氟化
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文献信息
| 篇名 | 用CF4等离子体对GaAs表面进行低温氟化 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 砷化镓 四氟化碳 氟化 等离子体 | ||
| 年，卷（期） | 1993,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 59-63 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN304.055 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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